nEXTメカニカルターボ分子ポンプ

Edwards nEXTメカニカルターボ分子ポンプ

Edwardsターボ分子ポンプはマルチステージ軸流タービンで、高速回転ブレードでガスの排気側への移動確率を高めることで圧縮を行います ターボ分子ポンプは、分子流条件に最適化されており、適切なサイズのバッキングポンプまたはオイルフリーのスクロールポンプが必要です。

nEXTシリーズから卓越した性能

nEXTは、ターボ分子ポンプのあらゆる先進の最新技術を組み合わせ設計されています。エンドユーザーの保守が容易であり、真にクラス最高の製品です。ポンプサイズは正確に、85、240、300、400L/sですが、ここで、nEXTファミリー(N2)に700と900L/sの排気速度性能が追加されました。 従来のターボ分子ポンプロータは、高い排気速度または圧縮率のいずれかを考慮して設計されています。この妥協を排除するため、nEXTロータのブレード配置はポンプ性能を最適化し、高い排気速度と圧縮率の両方を達成するよう完全に設計し直されました。その結果、そのサイズに対して卓越したポンプ性能が実現しました。


新製品:nEXT730およびnEXT930ターボ分子ポンプ

Edwardsは、nEXT製品ファミリーに二つの新しい機種、nEXT730とnEXT930を導入できることを誇りに思います。
Edwardsは、nEXT730およびnEXT930で、市場をリードするnEXTプラットフォームの範囲を拡大し、この二つの新しい大型ポンプで窒素に対して700および900L/sを大幅に超える速度を提供します。

これらのポンプは、高速の排気速度が必要とされる一般的なR&D市場に対応するだけでなく、コーティング市場や、熱処理、炉用途、Eビーム溶接、エッチング、イオンインプラント、ガス抜き、シリンダーからの排出などの他の拡散用途市場セクターの要件にも対応するように設計されています 。

Edwards nEXT730およびnEXT930ターボ分子ポンプのビデオ

EdwardsのnEXT730およびnEXT930ターボ分子ポンプは、EdwardsのnEXTファミリーの最新の製品であり、高い信頼性と低い所有コストとともに、クラス最高のパフォーマンスを提供します。信頼性の高いnEXTポンプの80,000台超の生産実績を背景に当社は、より要求の厳しい新しいセクターやアプリケーション向け排気速度の高速化と柔軟性の向上をもたらしています。これらの新しいモデルは、ISO / CF 160およびISO / CF 200のインレットフランジオプションでnEXTの機能を拡張し、900 L/sを超える排気速度を実現しています。


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Edwards nEXT730およびnEXT930ターボ分子ポンプビデオの概要

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EdwardsがnEXT85ターボ分子ポンプを発売

nEXT85は人気のEdwards nEXTターボ分子ポンプのシリーズに加わったばかりの新製品です。人気のEXTシリーズをベースに、フットプリントを縮小しながら性能を向上させ、機能と利点を改善しました。この優れた最新のターボ分子ポンプをEdwardsの製品マネージャーであるJohn Woodがご紹介をさせていただいています。


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Edwards nEXT85ターボ分子ポンプの動画

標準または高圧縮タイプの顧客選択が増えるなか、Edwards nEXT85ターボ分子ポンプは市場におけるクラス最小のポンプでありながら、すべての要求に優れた性能を提供できます。


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nEXT85 - 他のポンプが到達していない域へ....

最も低い圧力を達成するため、宇宙の端、地球から32km上空に新しいnEXT85を打ち上げることにしましたが、結局必要なのは電源を入れるだけでした。

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nEXTポンプの製造場所を見る

nEXTの製造拠点 Edwardsのルティーン製造工場は1999年以来稼働しているチェコ共和国にある当社のグローバル製造拠点です。13,000平方メートルの工場は、450人の従業員を擁し、80を超える精密製造ツール、550平方メートルのISO 7定格の最先端のクリーンルームがあります。

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卓越した排気速度と圧縮率

優れた性能

ターボポンプの巨大なインストールベース

安心できる実証済みの信頼性

注文設計サービス

柔軟なソリューション

インテリジェントコントロール内蔵

使いやすい

エンドユーザーによる保守が可能

長寿命で低所有コスト

お客様のニーズに合わせて選択できる充実のオプション

豊富な標準バージョンの提供

  nEXT85 nEXT240 nEXT300 nEXT400
インレットフランジ   DN40 DN63 ISO-KまたはDN63CF DN100 ISO-K  DN100 ISO-KまたはDN100CF DN100 ISO-KまたはDN100CF DN160 ISO-KまたはDN160-CF
インレット排気速度 ls-1 N2 47 84 84 240 300 400
Ar 44 80 80 230 280 380
He 61 78 80/78 (D/H) 230 340 390
H2 49/44 (D/H) 60/54 (D/H) 60/54 (D/H) 165 280 325
圧縮率 (D) N2 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011
Ar >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011
He 8 x 106/2 x 107 (D/H) 3 x 105 1 x 106 1 x 108
H2 2 x 105/5 x 105 (D/H) 1 x 104 5 x 104 5 x 105
圧縮率 (T/H) N2       >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011
He       1 x 106 3 x 106 >1 x 108
H2       1.5 x 104 1 x 105 1 x 106
  nEXT730D nEXT930D
ISO-K 160 CF 160 ISO-K 200 CF 200
メインインレット
排気速度
N2 ls-1 730 925
He ls-1 820 905
H2 ls-1 715 735
Ar ls-1 665 865
補助ポートからメインインレットポートへのピーク圧縮率
N2 >1x1011 >1x1011
He 1.2X108 1.2X108
H2 4X106 4X106
Ar >1x1011 >1x1011
到達圧力 (mbar) (CF) 3.0X10-10 3.0X10-10
重要 (kg) 14.6 19.6 15.4 21.7
フル速度での排気量:
N2 14 14
He 21 21
H2 >14 >14
Ar 3.5 3.5
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