nEXTターボ分子ポンプステーション（TICカート）
すべてのEdwardsターボ分子ポンプステーションには、TICターボおよびインスツルメントコントローラが搭載されており、次のことが可能です。
- コントロールパネルからシステムを始動/停止
- Edwardsのアクティブゲージの統合が容易
TICターボ分子ポンプステーションには、85 l/s～400 l/sの排気速度範囲でTICコントローラと、オイルシールポンプまたはドライバッキングポンプが装備されています。
すべてのTICターボ分子ポンプステーションにはnEXTターボ分子ポンプが搭載されており、実証済みの信頼性と容易な保守性をもたらします。オイルシールポンプには標準でEMFミストフィルタが装備されており、nXDSドライスクロールポンプにはターボポンプとバッキングポンプの間に、標準でアイソレーションバルブが付いています。
各種ターボ分子ポンプオプション
ターボ分子ポンプは、スピードレンジ47～400 ls-1、インレットフランジDN40～DN160からお選びいただけます。
完全な制御が可能
TICターボアンドインスツルメントコントローラは、ポンプの完全制御機能、最大3つのアクティブゲージ、フルシリアルリモート通信機能を備えています。
バッキングポンプの選択肢
1～20 m3h-1容量範囲のオイルシールドバッキングポンプとドライバッキングポンプからお選びいただけます。
ユーザーによる保守が可能
すべてのnEXTターボ分子ポンプとバッキングポンプは完全なユーザーによる保守が可能です。
一体型TICターボおよびインスツルメントコントローラ
シンプルで直感的なインターフェイスにより、パッケージを完全に制御できます。
