残留ガス分析

高性能と操作性の完璧なバランス

Edwards RGA残留ガス分析器

新しいRGAには2つのタイプがあります。PRAとWRAは両方ともシンプルで効率的な操作で、高性能と効率が保証されます。

残留ガス分析器RGA

Edwards PRA主要残留ガス分析器

PRA主要残留ガス分析器

Edwards PRA RGAは、高度な性能とアクセス可能性の完璧なバランスを実現します。お客様のプロセスに合わせて選べる4つのタイプがあります。単に基本モデルが必要な場合からより感度/範囲が必要な場合も、PRAはプロセスを分析するのに最適な最初の機器です。

残留ガス分析器RGA

Edwards WRA残留ガス分析器

WRAの各種残留ガス分析器

Edwards WRA RGAは、市場をリードする仕様を備えた当社の最上位モデルです。1-200と1-300 amuの2種類があり、プロセスから幅広い範囲のガス/副生成物を測定できます。これはPRAより高い感度と組合せ、測定装置での精度が向上します。

全圧力測定値

デュアルフィラメント

ディスプレイ付きの装置

お客様が交換できる部品

イオン源とEMの保護

ガス抜き機能

PRAの用途

高真空ポンプ機器内の残留ガス分析
R&Dでのガス分析
フリーズドライでのガス分析
PV/FPD/セミでのガス分析

WRAの用途

UHVポンプ機器内の残留ガス分析
有機素材の分析
環境トラッキング
ガス不純物

Edwardsが残留ガス分析機を発売

真空産業におけるガス検知と分析に最高の製品を提供するEdwardsのPRAおよびWRA残留ガス分析機(RGA)ラインのご紹介

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