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EXSドライスクリュ真空ポンプ

EXSドライスクリュ真空ポンプ

過酷な産業用途における粗引き速度の高速化と低い到達真空圧

独自のスクリュ技術、高度な温度制御、整備間隔の延長

堅牢設計の特長

滑らかな金属板の保護筐体を備えた、手動ガスバラスト制御による信頼性の高い最新のガスシステム。

シンプルな電気設計

既製品のインバータ内蔵によるシンプルな接続と通信、およびIP54要件に準拠した電気キャビネット。

電力および設備使用量の低減

EXSは電力と設備使用量を抑えて、二酸化炭素排出量を削減します。汚染されたオイルを廃棄しないため、環境にも配慮した製品です。

粗引き速度の高速化と低い到達真空圧

処理時間とポンプダウン時間を短縮して、生産性を向上させます。到達真空圧は低く、 
< 1 x 10-2

非接触型長寿命シール

オイルを遮断するラビリンスシールを備えた非接触型長寿命シールにより、極めて効果的なシーリングを実現します。

高度なコア技術

汎用性のある高品質ベアリングと低蒸気圧型専用オイル。 

知識と洞察

EXSポンプは、以下のような各種産業用途に最適です。

  • 真空ろう付け
  • 電子ビーム溶接
  • 浸炭窒化
  • 低圧窒化
  • 低圧浸炭
  • 炭素蒸気含浸
  • 焼結
  • 金属射出成形
  • 精密インベストメント鋳造
  • 真空アーク精錬
  • プラズマ溶接
  • プラズマ窒化
  • 宇宙シミュレーションチャンバ
  • ガス回収/循環
  • ロードロックチャンバ
  • シリコン結晶引き上げ 
  • PVラミネート
  • ロールウェブコーティング
  • ハードコーティング(CVD/DLC)
  •  表面活性化
  • プラズマ溶射
  • ガラスコーティング
仕様   単位
一般 到達真空圧 mbar(Torr) < 1 x 10-2(< 8 x 10-3
最大排気速度 m3/hr(cfm) 740(435)

最大出力

全負荷出力

kW(hp)

8(11)

22(30)

最大ロータ速度 rev/min 7500
入口/出口フランジ   ISO100/NW50
寸法(mm) 長さx幅x高さ/mm(インチ)

1650 x 613 x 642

(65 x 24.2 x 25.3)

冷却 接続   G1/2インチ、メスネジ
冷却フロー(常時オン) l/min(gal/min) 12(3.2)
最大供給圧力 barg(psig) 7(100)
温度 °C(°F) 5~40(41~104)
パージ 接続   G1/2インチ、メスネジ
圧力 barg(psig) 3~6.9(43.5~100)
シャフトシールフロー(常時オン) l/分 12
ガスバラストフロー(手動調整) l/分 1~130
運転 周囲温度範囲 °C(°F) 5~40(41~104)
ノイズレベル(サイレンサ装着時) dB(A) < 70
最大排気背圧 bar.a (psig) 1.2(2.9)
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