拡散ポンプ

次世代のハイスループット拡散ポンプ

工業用途に最適なソリューション

性能の安定性

最適化された排気速度と安定したハイスループットは、重要なコーティング、冶金、熱処理および研究開発用途に最適です。

信頼性と生産性の向上

スマートな温度制御と内蔵されたセンサにより、最小限の負荷でヒーターと油の寿命を最大限に伸ばすことができます。耐摩耗性に優れ、交換が簡単なヒーターカートリッジにより、サービスと保守の間隔が長くなります。

エネルギー効率コントローラ

エネルギー効率コントローラを使うことで、USBとイーサネットインタフェースを繋げモニタリングする事で操作性が向上させる事が出来ます。新しいヒーター設計により加熱時間が短縮し、30%エネルギーが節約されます。

技術仕様

    NHT20 NHT35
    ANSI ISO ANSI ISO
吸気接続部   20" ANSI 60 ISO-K 35" ANSI 1000 ISO-K
バッキング接続   4" ANSI 160 ISO-K 6" ANSI 200 ISO-K
排気速度*
窒素<10-4mbar
l/s 10,000 30,000
排気速度
アルゴン <10-4 mbar
l/s 9,000 26,000
排気速度
ヘリウム <10-4 mbar
l/s 17,000 42,000
ガススループット mbar l/s 18 33
動作範囲 mbar <10-2 - 5 x 10-7 < 10-2 - 5 x 10-7
到達圧力 (Edwards 704) mbar < 5 x 10-7 < 5 x 10-7
ハッカー臨界圧力 (Edwards 704) mbar 5 x 10-1 5 x 10-1
加熱パワー kW 10.8 21.6
加熱カートリッジ 数量 9 18
暖機期間 min < 25 < 30
重量 kg 210 720
推奨オイル   Edwards 704 Edwards 704
オイル l 5.5-7.0 9.0 - 11.00
最小限の背圧ポンプ排気量で最大スループットを実現 ㎥/h 135 250
推奨背圧ポンプ   GXS160、E2M175 GXS250、E2M275

知識と洞察力

ご相談下さい まずは最寄のエドワーズにご連絡ください。