ご利用のブラウザはサポートされておりません

ご利用のブラウザはサポートされておりません。弊社のWebサイトを引き続きご覧になるためには、次のようなサポートされたブラウザをご利用ください。

拡散ポンプ

次世代のハイスループット拡散ポンプ

過酷な産業用途に最適なソリューション

性能の安定性

最適化されたポンプ速度と安定したハイスループットは、重要なコーティング、冶金、熱処理、研究開発用途に最適です。

信頼性と生産性の向上

スマート温度制御と内蔵センサ方式のため、負荷が最小限でヒータとオイルの寿命が伸びます。部品の摩耗がなくヒータカートリッジの交換が簡単なので、サービスやメンテナンスの間隔が伸びます。

エネルギー効率コントローラ

エネルギー効率コントローラは使いやすく操作性に優れており、USBとイーサネットインタフェースによる効果的な監視が可能です。画期的な加熱方式のため予熱時間が短く、最大で30%のエネルギーを節約できます。

技術仕様

    nHT10 nHT16 nHT20 nHT32 nHT35    
    ANSI  ISO ANSI  ISO ANSI  ISO ANSI  ISO ANSI ISO
吸気口接続    10˝ ANSI  320 ISO-K  16˝ ANSI 500 ISO-K 20˝ ANS 630 ISO-K  32” ANSI 800 ISO-F 35˝ ANSI 1000 ISO-F
バッキング接続   2˝ ANSI 63 ISO-K 3” ANSI  100 ISO-K 4˝ ANSI 160 ISO-K 6” ANSI 200 ISO-K 6” ANSI 200 ISO-K
ポンプ速度*
窒素 <10-4 mbar
l/s 3,000 6,800 10,000  21,000 30,000
ポンプ速度
アルゴン <10-4 mbar
l/s 2,750 6,350 9,000 18,000 26,000
ポンプ速度
ヘリウム <10-4 mbar
l/s 4,500 9,500 17,000 30,000 42,000
ガススループット mbar l/s 8 11 17 36 36
運転レンジ mbar < 10-1~10-7 < 10-1~10-7 < 10-1~10-7 <10‐2~10‐7 < 10-2~10-7
到達圧力
(Edwards 704)
mbar < 5 x 10-7 < 5 x 10-7  < 5 x 10-7 < 10‐6  < 10-6
臨界背圧
(Edwards 704)
mbar 5 x 10-1 5 x 10-1 5 x 10-1 5 x 10-1 5 x 10-1
加熱パワー kW 3.6 7.2 10.8 21.6 21.6
加熱カートリッジ 数量 3 6 9 18 18
暖機期間 < 15 < 15 < 25 < 25 < 25
重量 kg 105  185 210 570 720
推奨オイル   Edwards 704
オイル L 3.0~4.0 3.5~4.5 5.5~7.0 9.0~11.0 9.0~11.0
推奨保持ポンプ   E2M40 E2M40 E2M40 E2M80 E2M80
推奨バッキングポンプ   nES200、E2M80、
EDS200、EH1200
nES200、E2M175、
EDS200、EH1200 
nES300、E2M175、
EDS300、EH1200
nES630、E2M275、
GXS450、EH2600
nES630、E2M275、
GXS450、EH2600

知識と洞察

ご相談ください。 今すぐ最寄りの担当者にお問い合わせください。