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EdwardsのCTI-Cryogenics 320F XVSクライオポンプのトップバナー

On-Board IS 320F XVSクライオポンプ

今日の要求の厳しいイオン注入用途に対応するソリューション

新しいレベルのクライオポンプ性能を実現します

EdwardsのCTI-Cryogenics On-Board IS 320F XVSクライオポンプを垂直にした状態

On-Board® IS 320F XVSクライオポンプは、製品歩留まりと装置スループットを向上させるため、最大の水素排気性能を実現するように設計されており、今日のイオン注入用途の課題に完璧な答えを提供します。クライオポンプに内蔵されたインテリジェントなシステム制御により、プロセスの品質、真空の安定性、および稼働時間を向上させ、リアルタイムのシステム情報を提供してさまざまな温度を最適に制御できます。温度やガスの負荷条件の変化に合わせて自動調整することで、真空品質が向上します。

   

特長と利点

  • 再生間のH2排気速度変動の低減
  • フォトレジストの汚染によるH2排気速度への影響の低減
  • さまざまな温度を安定させ最適化

  • 高い水素排気速度 - 15,500 L/S
  • 高い水素容量– 40 STD-L

  • On-Board ISクライオポンプシステム
  • IS-1000、IS-2000V、IS-1800 XVSコンプレッサ

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