CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320Fクライオポンプは、市場で最も信頼性が高く、最高の性能を実現する注入クライオポンプを提供してきたEdwardsの伝統を維持しています。
On-Board® IS 320F XVSクライオポンプは、製品歩留まりと装置スループットを向上させるため、最大の水素排気性能を実現するように設計されており、今日のイオン注入用途の課題に完璧な答えを提供します。クライオポンプに内蔵されたインテリジェントなシステム制御により、プロセスの品質、真空の安定性、および稼働時間を向上させ、リアルタイムのシステム情報を提供してさまざまな温度を最適に制御できます。温度やガスの負荷条件の変化に合わせて自動調整することで、真空品質が向上します。
