On-boardクライオポンプ

統合を加速させて、システム動作を改善

Edwards CTI-Cryogenics On-Board真空ポンプは、統合を高速化し、システムの動作を改善し、信頼性と性能の世界標準として知られています。

優れたアップタイムを実現するOn-Boardクライオポンプと一貫した性能、完全統合されたコントロールと補助周辺機器により、全体的なツール生産性とアップタイムを増加させる優れたアップタイムを提供します。