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Edwards On-Boardクライオポンプ

On-Boardクライオポンプ

信頼性と性能の世界標準

統合を加速させて、システム運用を改善

On-Boardクライオポンプは、完全に一体化されたコントロールとサポート周辺機器を備え、優れた安定性能を発揮することで、全体的なツール生産性と稼働時間を向上させます。

 

主な機能

  • 再生間のクライオポンプ性能を拡張するFast Regen™機能
  • お使いのクライオポンプをネットワーク化することで同時再生機能を実現し、システム全体の再生を高速化
  • 内蔵マイクロプロセッサ制御による性能強化、通信機能および診断ルーチンの実行
  • 高度なソフトウェアと使いやすいグラフィカルユーザインターフェイスにより、性能と動作が大幅に向上

On-Boardクライオポンプモデル 4F 8 8F 10 10F 250F 400 500
排気速度 - L/s
水蒸気 1100 4,000 4,000 9,000 9,500 6,500 17500 30,000
エア 370 1,500 1,500 3,000 3,600 2,200 6,000 10,000
水素 370 2,500 2,200 5,000 6,000 3,200 12,000 12,000
アルゴン 310 1,200 1,200 2,500 3,000 1800 5,000 8400
容量 - 標準リットル
アルゴン 210 1,000 1,000 2,000 2,000 1,000 2,500 6,000
水素(5 x 10-6 Torr) 3 17 12 24 24 16 42 45
公称再生時間(冷間)
第1段と第2段 75分 2.5時間 2.5時間 2.5時間 2.5時間 3.3時間未満 3時間 3.8時間未満
第2段 1時間未満 1時間未満 1時間未満 1時間未満 1時間未満 1.5時間未満 1.5時間未満 -

詳細はアトラスコプコにお問い合わせください

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