On-boardクライオポンプ

信頼性とパフォーマンスの世界標準

統合を加速させて、システム動作を改善

優れたアップタイムを実現するOn-Boardクライオポンプと一貫した性能、完全統合されたコントロールと補助周辺機器により、全体的なツール生産性とアップタイムを増加させる優れたアップタイムを提供します。

主な特徴

 
  • 世代間のクライオポンプ性能を延長するFast Regen™ 機能
  • クライオポンプをネットワーク化することで実現する同時再生機能により、システム全体の再生を高速化
  • パフォーマンスを強化し、診断ルーチンを実行し、通信機能を提供する内蔵マイクロプロセッサ制御
  • 高度なソフトウェアと使いやすいGUIにより、パフォーマンスと動作が大幅に向上

On-Board cryopumps chart