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Edwards On-Boardクライオポンプ

On-Boardクライオポンプ

信頼性と性能の世界標準

統合を加速させて、システム運用を改善

On-Boardクライオポンプは、完全に一体化されたコントロールとサポート周辺機器を備え、優れた安定性能を発揮することで、全体的なツール生産性と稼働時間を向上させます。

 

主な機能

  • 再生間のクライオポンプ性能を拡張するFast Regen™機能
  • お使いのクライオポンプをネットワーク化することで同時再生機能を実現し、システム全体の再生を高速化
  • 内蔵マイクロプロセッサ制御による性能強化、通信機能および診断ルーチンの実行
  • 高度なソフトウェアと使いやすいグラフィカルユーザインターフェイスにより、性能と動作が大幅に向上

On-Board Cryopump Model 4F 8 8F 10 10F 250F 400 500
Pumping Speeds - litres/sec.
Water Vapour 1,100 4,000 4,000 9,000 9,500 6,500 17,500 30,000
Air 370 1,500 1,500 3,000 3,600 2,200 6,000 10,000
Hydrogen 370 2,500 2,200 5,000 6,000 3,200 12,000 12,000
Argon 310 1,200 1,200 2,500 3,000 1,800 5,000 8,400
Capacity - std. litre
Argon 210 1,000 1,000 2,000 2,000 1,000 2,500 6,000
Hydrogen (5x10-6 Torr) 3 17 12 24 24 16 42 45
Nominal Regeneration Time (cold to cold)
First and Second Stage 75 min 2.5 hrs 2.5 hrs 2.5 hrs 2.5 hrs <3.3 hrs 3 hrs <3.8 hrs
Second Stage <1 hr <1 hr <1 hr <1 hr <1 hr <1.5 hrs <1.5 hrs -

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