Edwards Polycold® PFC水蒸気クライオチラーは、高真空システムのガス負荷の65〜95%を含む水蒸気を効果的に捕捉します。
「スタート」から数分以内に蒸気を送り込み、4分以内に霜取りを行い、処理中の水蒸気分圧を下げて、高品質、優れた接着性、再現性のある堆積を実現します。
PFCクライオチラーを真空システムに追加すると、ポンプダウン時間を25～75%も劇的に短縮し、製品の排気量を20%～100%も向上させることができます。さらに、PFCクライオチラーは、液体ニトロゲン冷却のマイスナーと比較して優れたコスト/パフォーマンス比を提供し、通常、わずか1年で投資回収を実現します。
