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Edwards PFC水蒸気クライオチラー

PFC水蒸気クライオチラー

高速動作ユニットによりポンプダウン時間を短縮

課題に対処するための設計

始動から数分以内に蒸気を排出し、4分未満で霜取りを行うことで、処理中の水蒸気分圧を下げて、高品質、優れた接着性、再現性のある凝結を実現します。

お使いの真空システムにPFCクライオチラーを追加することで、ポンプダウン時間を25~75%短縮し、処理能力を20~100%向上させることができます。さらに、PFCクライオチラーは、液体窒素冷却のマイスナーと比べて優れたコストパフォーマンス比を実現し、通常、1年足らずで投資回収が可能です。

 

主な機能

  • -90~-155℃(183~118 K)
  • シンプルなチューブタイプの冷却エレメント
  • 速度200,000 l/秒、真空レベル最大2 x 10~12 Torrによる真空システム内の水蒸気の極低温凝縮(モデルと用途により異なります)
  • 最大3,600ワットの熱除去
  • 国際的な基準に準拠しており、毒性も可燃性もないグリーン冷媒注入
  • 特許取得済みの極低温冷凍プロセスと冷媒混合物
  • 各種のクライオコイル構成が可能

詳細はアトラスコプコにお問い合わせください

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