PFC水蒸気クライオチラー

この高速動作ユニットでポンプダウン時間を減少

課題に対処するための設計

「スタート」から数分以内に蒸気を送り込み、4分以内に霜取りを行い、処理中の水蒸気分圧を下げて、高品質、優れた接着性、再現性のある堆積を実現します。

PFCクライオチラーを真空システムに追加すると、ポンプダウン時間を25~75%も劇的に短縮し、製品の排気量を20%~100%も向上させることができます。さらに、PFCクライオチラーは、液体ニトロゲン冷却のマイスナーと比較して優れたコスト/パフォーマンス比を提供し、通常、わずか1年で投資回収を実現します。

主な特徴

  • -90°~-155° C (183~118 K)
  • シンプルなチューブタイプの冷却要素
  • モデルと用途によって、200,000 l/秒の速度、2 x 10-12 torrまでの真空レベルの水蒸気の低温凝縮
  • 3600ワットまで熱除去
  • 国際的に準拠しており、毒性も不燃性もないグリーン冷媒注入
  • 特許取得済みの極低温冷凍プロセスと冷媒混合物
  • さまざまなクライオコイル構成を提供します。