MaxCoolクライオチラー

このクライオチラーを使用すると、クライオコイルやシェブロンバッフルなどの低温表面に水蒸気やその他の凝縮性物質を凍結、捕捉できます。MaxCoolクライオチラーは、半導体ウェーハプロセスで使われる静電チャックなどの物体の冷却や加熱にも使用されます。冷却力が2,000、2,500、4,000ワットの各種モデルをご用意しています。

水蒸気は通常、高真空システム内に存在する最も反応性の高い汚染物質です。MaxCoolクライオチラーを使用すると、既存システムの処理能力を20～100％向上させ、凝結品質を改善できます。

• 高真空ポンプダウン時間を最大75％短縮
• 処理能力を20％～100％増加
• 処理中の水蒸気分圧を低くしてフィルム品質を高め、密着性を向上させることで凝結の再現性を高めます
• 液体窒素の繰り返しコストを排除して、迅速な投資回収を実現
• 電源管理により、所有コストを最小化
• 幅広いプロセスに対応する大容量の冷却と加熱

MaxCoolクライオチラーは、拡散ポンプ、ターボポンプ、ヘリウムクライオポンプシステムに追加できる最もコスト効率に優れたアップグレード機能です。

MaxCoolクライオチラーは、欧州冷媒規制（EC 1005/2009）、モントリオール議定書およびUS EPA SNAPに準拠しています。

• Rapid Cool to Cool（急速冷却から冷却）オプションによる生産性向上
• 所有コストを最小化する電源管理オプション
• 温度制御
• 特許取得済みのグリーン冷媒注入は、国際的な規制に準拠しており、毒性も可燃性もありません
• 革新的で信頼性が高く、実証済みのPolycold®混合ガス冷却
• EU PEDおよびMDに準拠
• NRTL/CANADA安全基準に適合したTUV Rheinland認定
• ISO 9001:2008認定メーカー