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EdwardsのMaxCoolクライオチラーシリーズ

MaxCoolクライオチラー

課題に対処するための設計

より低い真空レベルを迅速に達成

このクライオチラーを使用すると、クライオコイルやシェブロンバッフルなどの低温表面に水蒸気やその他の凝縮性物質を凍結、捕捉できます。MaxCoolクライオチラーは、半導体ウェーハプロセスで使われる静電チャックなどの物体の冷却や加熱にも使用されます。冷却力が2,000、2,500、4,000ワットの各種モデルをご用意しています。

水蒸気排気

水蒸気は通常、高真空システム内に存在する最も反応性の高い汚染物質です。MaxCoolクライオチラーを使用すると、既存システムの処理能力を20~100%向上させ、凝結品質を改善できます。

MaxCoolの利点

  • 高真空ポンプダウン時間を最大75%短縮
  • 処理能力を20%~100%増加
  • 処理中の水蒸気分圧を低くしてフィルム品質を高め、密着性を向上させることで凝結の再現性を高めます
  • 液体窒素冷却マイスナーと比べて、優れたコストパフォーマンス
  • 電源管理により、所有コストを最小化
  • 幅広いプロセスに対応する大容量の冷却と加熱

Edwards Polycold MaxCoolクライオチラー

MaxCoolクライオチラーをお使いの真空システムに追加すると、ポンプダウン時間を大幅に短縮し、製品の処理能力を向上させます。MaxCoolは始動から数分以内に水蒸気を排出し、4分未満で霜取りを行うことで、真の高速サイクル機能を実現します。また、「Rapid Cool to Cool(急速冷却から冷却)」と呼ばれるオプションにより、霜取り後の待機期間が不要となり、システムのシフトあたりの生産サイクルを増やすことができます。

MaxCoolクライオチラーは、特許取得済みのPolycold®冷媒混合物を使用し、マイスナートラップ原理に基づいて動作します。水蒸気は、マイスナーコイルと呼ばれる極低温で冷却された表面に凝縮、捕捉されます。マイスナー(クライオコイル)は真空チャンバに直接取り付けられているため、コンダクタンスがポート、マニフォールド、バルブ、バッフルによって制限されることはありません。クライオコイルは取り付けが簡単で、あらゆるシステムに適合します。高真空バルブは必要ありません。

MaxCoolクライオチラーは、拡散ポンプ、ターボポンプ、ヘリウムクライオポンプシステムに追加できる最もコスト効率に優れたアップグレード機能です。

MaxCoolクライオチラーは、欧州冷媒規制(EC 1005/2009)、モントリオール議定書およびUS EPA SNAPに準拠しています。

メリット

  • Rapid Cool to Cool(急速冷却から冷却)オプションによる生産性向上
  • 所有コストを最小化する電源管理オプション
  • 温度制御
  • 特許取得済みのグリーン冷媒注入は、国際的な規制に準拠しており、毒性も可燃性もありません
  • 革新的で信頼性が高く、実証済みのPolycold®混合ガス冷却
  • EU PEDおよびMDに準拠
  • NRTL/CANADA安全基準に適合したTUV Rheinland認定
  • ISO 9001:2008認定メーカー

MaxCool各モデルの仕様

 

MaxCool 2000

MaxCool 2500L

MaxCool 4000H

最大冷却能力

2,000 W

2,500 W

4,000 W

最大冷却能力時の温度

-111℃

-120℃

-98℃

最低温度

-142℃

-145℃

-133℃

到達運転圧力(最大排気速度の25%)

3E-9 Torr

8E-10 Torr

5E-8 Torr

標準的なコールドトラップ領域

1.1 m2

1.4 m2

2.2 m2

標準的なコールドトラップ領域からの最大水蒸気排気速度

163,900 l/s

208,600 l/s

327,800 l/s

保存的最大コールドトラップ領域*

1.5 m2

2.0 m2

2.8 m2

消費電力(スタンバイモード)

5.5 kW

11.4 kW

12.0 kW

消費電力(冷却モード、標準負荷)

6.2 kW

13.9 kW

12.4 kW

電力消費(冷却モード、最大負荷)

8.8 kW

19.2 kW

19.2 kW

冷却水フロー(13℃)

6.8 l/分

15.1 l/分

15.1 l/分

冷却水フロー(18℃)

9.1 l/分

18.2 l/分

18.2 l/分

冷却水フロー(24℃)

13.6 l/分

27.3 l/分

27.3 l/分

冷却水フロー(29℃)

27.6 l/分

54.1 l/分

54.1 l/分

欧州PED準拠

はい

はい

はい

無毒冷媒

はい

はい

はい

不燃性冷媒

はい

はい

はい

詳細はアトラスコプコにお問い合わせください

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