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安全な「使用点」ガス除害のための世界大手システム
半導体プロセスの真空ポンプ排気から危険なガスを安全に除去するよう特別に設計されています。
GRCは、有毒ガスを化学的に破壊する独特なホットベッド反応器です。新しい廃液排気の問題を発生させず、1つのシステムで最も広範囲のガスと混合ガスを処理します。無機顆粒の独自の混合物は、溶接済みステンレス鋼カートリッジ内に保持されます。これは、管状の電気ヒータに挿入することで高温に維持されます。カートリッジに流入する有害な排気ガスは、完全に化学反応し、安定したインサート無機塩に変換されます。
