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T-Station 300ターボ分子ポンプステーション

パフォーマンスの拡大

Edwards T-Station 300ターボ分子ポンプステーション

新型Edwards T-Station 300により、高い評価を頂いている弊社のターボ分子ポンプステーションの幅広い品揃えがさらに拡がりました。T-Station 300は、20万台を超えるターボ分子ポンプを設置した、実績あるT-Station 85の基礎的要素に基づいて設計されています。

T-Station 300 XDD1ターボ分子ポンプステーション

T-Station 300 E2M1.5ターボ分子ポンプステーション

ポンプスピードの高速化

評価の高い既存のT-Station 85のプラットフォームを採用し、nEXT85Hターボ分子ポンプをnEXT300ターボ分子ポンプに変更することで、ラインアップを拡大し、最大300 ls-1の高速ポンプを必要とするお客様にソリューションをご提供します。


投資効果が高い

T-Station 300は、弊社のすべてのT-Stationと同様、nEXT300ターボ分子ポンプとXDD1ダイアフラムポンプ(乾式)またはE2M1.5オイルシールドロータリーベーンポンプ(湿式)を組み合わせた、コスト効率の高いコンパクトなモジュール式ポンプステーションであり、より多くの用途にソリューションを提供することができます。

容易な保守性

T-Station 300ユニットはコンパクトかつユーザーによる保守が容易で、低コストの維持が可能です。用途に合わせてISO 100適合またはCF 100フランジ対応の真空ソリューションをお選びいただけます。

容易なポンプ接続

シンプルで使いやすく、容易なポンプ接続方法によりシステム化や追加の空冷装置が不要です。完全に組み立てられた状態で届くため、迅速かつ容易に運転を開始することができます。

堅牢な構造

薄型でコンパクトに設計されたオールメタルフレームは、ひび割れや破損の心配なく酷使することができ、ベースプレートは安定性強化のためにゴム製の脚を備えています。

ポンプスピードの高速化

投資効果が高いポンプパッケージ
容易なポンプ接続ソリューション
容易な保守性
堅牢な構造

N2ポンプスピード    
ISO100 l/s 300
CF100 l/s 300
N2圧縮率    
ISO100   >1x1011
CF100   >1x1011
バッキングポンプスピード50 Hz    
E2M1.5 m3/h 1.6
XDD1 m3/h 1.2
到達真空レベル    
ISO100 mbar <6x10-8
CF100 mbar <5x10-10
排気フランジ    
E2M1.5   外径11 mmノズルまたは3/8" BSP
XDD1   装着サイレンサまたは1/8" BSP
質量    
TS300 ISO100 E2M1.5 kg 26
TS300 CF100 E2M1.5 kg 29
TS300 ISO100 XDD1 kg 21
TS300 CF100 XDD1 kg 24
ノイズレベル dB(A) <56 dB(A) ± 3dB(A)、ISO4871に準拠したデュアルナンバー騒音排出の申告値
気密性 mbar l/s <1x10^-6
運転温度範囲    
TS300 E2M1.5 +12~+40
TS300 XDD1 +5~+35