Touch Taiwan 2015でエドワーズの幅広い真空テクノロジーのポートフォリオを展示

2015/08/19

「今年のTouch Taiwanで最適化された真空ポンプテクノロジーを紹介できることをうれしく思います。」とコメントするのは、エドワーズのIndustrialの市場セクターマネージャーであるV. Rangarajanです。「お客様にとって非常に重要な低所有コストと環境に配慮した様々なソリューションをご紹介します。」

展示していますES300シングルステージロータリベーン油封式ポンプは、高い真空性能と優れた安定性を発揮するため、コーティングやタッチパネル向けアプリケーションに最適です。最適化されたオイルリターンシステムにより、シングルステージポンプによくある圧力の変動がないため、製品の品質が向上し、プロセス結果が安定します。新しいES ポンプのポンプメカニズムは、低圧でも排気速度を維持して、動作圧力範囲を広げながら、質の高い真空を生み出すよう微調整されています。

GXS160/1750ドライスクリューポンプとブースタの組み合わせは、スムースで静かな動作と素晴らしい真空性能と低ランニングコストに貢献する画期的な機能を統合しています。こちらもブースにてご覧いただけます。GXSは非常に安定した排気速度を提供し、ポンプのダウンタイムを短縮し、到達真空5 x 10-4 mbarを実現するため、製品の品質と生産性が向上します。インテリジェントなコントロールシステムを搭載したGXSはコーティング、ラミネーションおよび工業用アプリケーションに最適で、最終製品の排気量を最適化したいプロセスのコントロールを自動化します。




エドワーズはまた、ディスプレイタッチパネル、フラットパネルディスプレイ、およびソーラーパネル向けコーティングシステムの製造業者にとって大幅なコスト削減を実現するように設計された、コントローラ一体型のSTP-iXR1606磁気浮上ターボ分子ポンプをアピールしています。機械軸受けがないために、定期保守のコストが不要となり、ダウンタイムは最小限に抑えられます。ポンプの設計は、高真空を実現しながらガス排気量を最大化し、これらの大流量プロセスに必要なポンプの台数を最小にします。




iXL120とiXL1000シリーズはライトデューティー工程向けのコンパクトで低エネルギーのドライポンプです。小型チャンバーの高速排気と低消費電力を達成します。グリーンモードを使用すると、アイドリング時のユーティリティ使用量を低減し、コストを削減しながら環境負荷の低減ができます。これらは、ロードロック、ラミネーションとシーリングシステム、さらには他のタッチパネルプロセスに最適で、貴重な床面積を節約します。




真空イノベーションの最新情報を確認し、貴社のプロセスをどのように改善できるか、Touch TaiwanのエドワーズブースJ910/1Fにお立ち寄りください。




ブース#J910


ホール1F


2015年の8月26~28日


台北世界貿易センター


Nangang 展示ホール


台湾

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