エドワーズがSEMICON Koreaで統合型除害ソリューションを披露

2015/02/04

「エドワーズは総所有コストを抑え、生産性を向上させて最終製品の品質を強化することに向けて常に尽力しています。例として、SEMICON Koreaで当社の統合ソリューションを披露できることを喜ばしく思っています。」と言うのはエドワーズのマーケットセクターマネージャーであるCharles Leeです。「当社のEZENITH™製品ファミリーのように真空ポンプと除害装置を単一ユニットに統合することは、多くのメリットがあります: プロセス信頼性の向上、動作安全性の向上、起動の高速化、そして総所有コストの低減。統合型システムでは、可能な限り最高の真空ポンプ、除害システム、排気パイプ構成およびパイプ温度管理の設定が、当社の専門アプリケーションエンジニアによって決定され、最低限の総所有コストで安定し、予測可能なパフォーマンスを提供します。」




さらに、今年の製品ラインアップには、電力消費を最大95%減少させるグリーンモードを提供する、次のようなドライポンプが含まれています:

  • iXL120およびiXL200ドライポンプ - ロードロックおよびクリーン用途の中で最小かつ最軽量のポンプ。
  • iXHドライポンプ - ハーシュデューティ製造アプリケーション向けに特化して設計。
  • iXMドライポンプ - 最大の信頼性とポンプの長寿命化を提供するエネルギー使用量の少ないポンプ。
  • STP 磁気浮上式ターボ分子ポンプ - 半導体、FPD、LED、および太陽電池製造など大量、高流量アプリケーション向けの「オールインワン」ソリューション。




    「私たちはSEMICON Koreaへ今年再び参加できることを誇りに思っており、統合サブファブシステムについてお客様にお話しできるのが楽しみです。」とCharles Leeは語った。「私たちはこれまで15年間にもわたって統合型真空および除害装置を設計・販売しており、世界中に1000台以上のシステムを設置してました。実際のところ、当社のドライポンプの大部分は韓国で生産され、世界各国に輸出されています。私たちにはお客様が信頼できる実績があります。」 Charlesは、「SEMICON Koreaのエドワーズブース#5104に立ち寄っていただき、統合型真空および除害装置の利点について当社のアプリケーションエキスパートと話しをしていただければ幸いです。」と付け加えました。

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