エドワーズ - 100年間のイノベーション

2019/01/14

今年は当社の100周年

エドワーズの100年間

F.D. Edwards氏と100年間にわたる真空事業

科学とテクノロジーの進歩を真空が実現

エドワーズは過去100年間に飛躍的に進歩し、科学とテクノロジーにおいてこれまで以上に重要な役割を担い続けていきます。ここ10年間でさえも、スマートフォンやタブレット、HB LED照明、太陽電池パネル、電気自動車用のリチウムイオン電池など、新しい真空用途が数多く登場し、成長を続けています。最新のスマートフォンを見ると、プロセッサやメモリなどの高度な半導体デバイス、MEMSセンサ、高解像度LCD/LEDスクリーン、LED懐中電灯およびリチウムイオン電池からエンクロージャ形成、反射防止、疎油性スクリーンコーティングまで、不可欠なプロセスイネーブラとして真空を必要とする製造コンテンツの量は膨大です。今や、真空が可能にしている製品がない生活を想像することは難しいです。

半導体プロセスにとっての真空および除害の重要性

半導体プロセスでは、真空と除害はサブファブを実現するムーアの法則の最も重要な関数の2つです。真空ポンプはプロセスチャンバーを排気して各プロセスステップに必要な圧力と流量を供給し、同時に未使用のプロセスガスと副生成物を除去し、その後除害装置に送られて安全に排出または廃棄できるように処理します 。

1980年代になると、新しい半導体プロセスとガス流量の増加により、オイル潤滑の「湿式」ポンプに使用されるオイルに強力な化学物質や固形物が集まるという問題が発生し、サービス間隔は短くなり、所有コストが上昇しました。これらの問題は、オイルを使用しない「ドライポンプ」の開発と導入により解決されました。1984年にエドワーズのHenry Wycliffeがルーツ/クロードライポンプの特許を取得し、複雑な半導体プロセスを可能にする新技術としてすぐに採用されました。それ以来エドワーズは、半導体プロセスの急速な進歩が可能になるよう、またムーアの法則に沿うよう、複雑で困難な化学を駆使し、絶えず革新を加速してきました。多くの場合、新しいプロセスは真空および除害装置の大きなイノベーションがない限り不可能だったでしょう。

当社製品の環境への影響もまた、大きなイノベーションを広く受け入れています。真空ポンプだけでも、半導体製造工場の総エネルギー消費量の最大25%を占めることがあり、エドワーズにはより効率的で持続可能な製品を提供する革新的な実績があります。例えば、最新の第5世代半導体ドライポンプは、前世代と比べたエネルギー使用量を50%に抑えながら、より高いレベルの性能、長い整備間隔、および大幅なフットプリントの縮小を実現し、サブファブスペースを改善します。同様に、当社の除害装置はかつてなく困難となったガス化学物質の安全な管理を可能にし、各国の設置基盤により毎年約1,400万トン相当のCO2排出量の放出を防いでいます。

真空と除害分野におけるエドワーズのイノベーションの強み

Edwards氏は起業家として非常に成功し、イノベーションが成功できる環境を創り出してきました。このことは、それ以来ずっとエドワーズのDNAに残っています。当社が事業を提供する市場やアプリケーションの多くは非常に動的で変化が多く、製品に対する新しく困難な要件があり、エドワーズとお客様にとって複雑な課題に対する革新的なソリューションを開発することが重要です。

すべての新しく重要なアプリケーションに先んじるために、エドワーズは成功したイノベーションと新製品や新技術の開発をしてきました。事実、今日では当社は真空と排ガス関連した20種類以上の原理と、2,300件を超える有効で認可済みもしくは出願中の特許を保有しています。

真空の未来を垣間見る

未来がもたらすものがなんであれ、真空は実現を可能にする重要な役割を担い続けるでしょう。真空を必要とするアプリケーションの規模と件数は引き続き拡張し、テクノロジーシフトが起こることは間違いない中、エドワーズは画期的なソリューションでそれを実現するのに有利な立場にあります。

日常生活を見渡すと、デジタル世界や処理能力が向上したインテリジェントなコネクテッド製品から生じる機会など、新しく改善されたソリューションに対して絶え間ない需要の原動力となっている一般的テーマがあることがわかります。よりエネルギーと材料効率に優れた製品を通して環境への影響を最小限に抑えるソリューションに注力し続け、さらに持続可能かつ生産的な方法で科学とテクノロジーのブレークスルーを支援することが不可欠です。

F.D Edwards氏は、エドワーズが100年の歴史で達成した業績を非常に誇りに思うと確信しており、イノベーションに対する私たちの継続的な努力と投資により、次の100年も必ずや優位な立場を確保できると思います!