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XVSクライオポンプ

 

Q:まずご自身とエドワーズでの職歴についてお話しいただけますか?

A:私は現在、エドワーズの極低温製品を担当する戦略プロダクトマネジャーを務めています。極低温/真空業界には40年以上携わっています。極低温真空ポンプの分野で多くの特許を保有しており、マサチューセッツ大学で電気工学の学士号を取得しています。

Q:過去18ヵ月間は、私たちの業界にとって厳しいものでした。新しいOn-Board® IS 320F XVSクライオポンプの開発と生産における最大の課題は何でしたか?また、どのように克服しましたか?

A:ほとんどの業界と同じように、私たちはリモートでいかに効果的に仕事をするかを学ぶことになりました。製品開発は高いレベルの共同作業が必要なプロセスであり、これをリモートで行うのは困難であることが予想されていました。そこで、私たちは最新のオンライン共同会議プラットフォームを使用することで、この問題を克服できました。このプラットフォームが、当社の製品開発や製品リリースを全身させる原動力となりました。

Q:On-Board® IS 320F XVSクライオポンプは既存の製品シリーズに何をもたらしますか?また、お客様の生産性をどのように向上させるのでしょうか?

ポール・アムンゼン

ポール・アムンゼン

A:当社の新しいクライオポンプは次の再生プロセスまでの間、そしてポンプの寿命全体にわたり、安定した真空性能を維持するように設計されています。安定したプロセスで真空を作り出すことは、プロセス歩留りの向上にもなります。最高の水素排気速度と組み合わせることで、最も過酷なイオン注入用途に最適な選択肢となります。エドワーズは、市場で最も高性能で信頼性の高いイオン注入クライオポンプを設計することで定評があり、この新製品はそのことを実証しています。

Q:ユーザーによるコントロールという観点では、どのように機能しますか?

A:この答えのカギとなるのは、このクライオポンプの名前です。ISは「インテリジェントシステム」を意味する文字です。制御システムは、リアルタイムの適応制御を利用して、変化するプロセス条件に応じてクライオポンプの真空性能を最適化し、プロセスの品質と真空の安定性を確保します。

エドワーズは、市場で最も高性能で信頼性の高いイオン注入クライオポンプを設計することで定評があり、この新製品もそれを実証しています。

Paul Amundsen

Q:新製品の互換性について教えてください。 

A:On-Board® IS 320F XVSは、On-Board®ISクライオポンプシステムシリーズの最新製品です。この新しいクライオポンプには、既存のすべてのエドワーズCTI-Cryogenics On-Board® ISクライオポンプ、コントローラ、コンプレッサとの完全な互換性があります。

Q:最後に大事なことをうかがいます。On-Board® IS 320F XVSクライオポンプの環境への影響についてお話しいただけますか?

A:エドワーズは環境への影響を軽減する製品の提供に取り組んでおり、On-Board® IS 320F XVSクライオポンプも例外ではありません。当社のクライオポンプをOn-Board IS可変速ヘリウムコンプレッサとともに使用すると、固定速ヘリウムコンプレッサとともに使用した場合に比べ、エネルギー消費量を最大で44%削減できる可能性があります。

 

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