nHT series Diffusion Pumps Brochure
次世代のハイスループット拡散ポンプ
nHTシリーズは、真空性能が優れています。ポンプはオイルへの最適な熱伝達を考慮して設計されているため、昇温時間が短く消費電力を大幅に削減できます。
| nHT10 | nHT16 | nHT20 | nHT32 | nHT35 | |||||||
| ANSI | ISO | ANSI | ISO | ANSI | ISO | ANSI | ISO | ANSI | ISO | ||
| 吸気口接続 | 10˝ ANSI | 320 ISO-K | 16˝ ANSI | 500 ISO-K | 20˝ ANS | 630 ISO-K | 32” ANSI | 800 ISO-F | 35˝ ANSI | 1000 ISO-F | |
| バッキング接続 | 2˝ ANSI | 63 ISO-K | 3” ANSI | 100 ISO-K | 4˝ ANSI | 160 ISO-K | 6” ANSI | 200 ISO-K | 6” ANSI | 200 ISO-K | |
| ポンプ速度* 窒素 <10-4 mbar |
l/s | 3,000 | 6,800 | 10,000 | 21,000 | 30,000 | |||||
| ポンプ速度 アルゴン <10-4 mbar |
l/s | 2,750 | 6,350 | 9,000 | 18,000 | 26,000 | |||||
| ポンプ速度 ヘリウム <10-4 mbar |
l/s | 4,500 | 9,500 | 17,000 | 30,000 | 42,000 | |||||
| ガススループット | mbar l/s | 8 | 11 | 17 | 36 | 36 | |||||
| 運転レンジ | mbar | < 10-1～10-7 | < 10-1～10-7 | < 10-1～10-7 | <10‐2～10‐7 | < 10-2～10-7 | |||||
| 到達圧力 （Edwards 704） |
mbar | < 5 x 10-7 | < 5 x 10-7 | < 5 x 10-7 | < 10‐6 | < 10-6 | |||||
| 臨界背圧 （Edwards 704） |
mbar | 5 x 10-1 | 5 x 10-1 | 5 x 10-1 | 5 x 10-1 | 5 x 10-1 | |||||
| 加熱パワー | kW | 3.6 | 7.2 | 10.8 | 21.6 | 21.6 | |||||
| 加熱カートリッジ | 数量 | 3 | 6 | 9 | 18 | 18 | |||||
| 暖機時間 | 分 | < 15 | < 15 | < 25 | < 25 | < 25 | |||||
| 重量 | kg | 105 | 185 | 210 | 570 | 720 | |||||
| 推奨オイル | Edwards 704 | ||||||||||
| オイル | L | 3.0～4.0 | 3.5～4.5 | 5.5～7.0 | 9.0～11.0 | 9.0～11.0 | |||||
| 推奨背圧ポンプ | E2M40 | E2M40 | E2M40 | E2M80 | E2M80 | ||||||
| 推奨バッキングポンプ | nES200、E2M80、 EDS200、EH1200 |
nES200、E2M175、 EDS200、EH1200 |
nES300、E2M175、 EDS300、EH1200 |
nES630、E2M275、 GXS450、EH2600 |
nES630、E2M275、 GXS450、EH2600 |
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