信頼できる安定した真空環境が不可欠なあらゆる場面で、Edwardsの真空機器が頼りになります。
Edwardsでは、既製または特注のソリューションを通じて、厳しい要求を満たす真空装置をご用意しています。最初のアドバイスから設置およびサポートに至るまで、当社は、分析および調査の中で変化する複雑な要求に対応し、安全で安定した真空環境を提供します。
当社のドライポンプおよびオイルシールポンプシリーズは、信頼性、性能、保守性の高さから、業界の標準となっています。高真空を必要とする用途において、当社のさまざまなハイブリッド軸受けポンプやMaglevターボ分子ポンプは、47～4300 l/sのポンプ速度を発揮します。当社は、超高真空や極高真空に関わる用途において、10～11 mbar以下の圧力を達成するキャプチャイオンポンプシリーズをご用意しています。
| 高エネルギー物理学 | 大学と実験室 | その他 | |||||||||
| 加速器／LINAC | ビームラインおよびエンドステーション | 融合 | レーザー | 重力波 | 大学 | 化学実験室 | 一般実験室 | ナノテクノロジー施設 | 宇宙シミュレーション | ||
| ロータリベーンポンプ | |||||||||||
| 1段圧縮 | ES | * | * | * | * | ||||||
| 2段圧縮 | E2M小型 | * | * | * | * | * | * | * | * | ||
| RV | * | * | * | * | * | * | * | * | |||
| E2M中型&大型 | * | * | * | * | * | * | * | * | |||
| メカニカルブースタ | |||||||||||
| EH/pXH | o | o | o | ||||||||
| 小型ドライポンプ | |||||||||||
| ダイヤフラム | D-Lab、XDD1 | o | o | o | o | o | |||||
| スクロール | nXDS、XDS | o | o | o | o | o | o | o | o | * | o |
| 大型ポンプとシステム | |||||||||||
| 多段ルーツ | iXL（クリーンポンプ） | o | o | o | o | o | o | * | o | ||
| iXM（ミディアムデューティ） | o | o | o | o | o | o | o | o | o | ||
| クローポンプ | iXH（ハーシュデューティ） | o | o | o | o | o | o | o | o | o | |
| iGX（ライト&ミディアムデューティ） | * | * | * | * | * | * | * | o | |||
| iH（ハーシュデューティ） | * | * | * | * | * | * | * | o | |||
| スクリューポンプ | GXS | o | o | o | o | o | o | o | o | ||
| CXS | o | o | o | o | o | o | |||||
| 高真空ドライポンプ | |||||||||||
| EPX | |||||||||||
| ターボ分子ポンプ | |||||||||||
| ハイブリッド軸受け | nEXT | o | o | o | o | o | o | o | o | - | o |
| 磁気軸受け | STP | o | o | o | o | o | o | o | o | o | |
| ポンプステーション | ターボポンプステーション | o | o | o | o | o | o | o | o | o | |
| UHVポンプ | |||||||||||
| イオンゲッター | o | o | o | o | o | o | o | ||||
| チタンサブリメーション | o | o | o | o | o | o | o | ||||
| 非蒸発性ゲッター | o | o | o | o | o | o | o | ||||
| 真空機器 | |||||||||||
| 測定器およびコントローラ | o | o | o | o | o | o | o | o | o | o | |
| リークディテクタ | ELD500 | o | o | o | o | o | o | o | o | o | o |
| 真空ハードウェア | |||||||||||
| バルブ | o | o | o | o | o | o | o | o | o | o | |
| パイプラインコンポーネント | o | o | o | o | o | o | o | o | o | o | |
| フランジおよびフィッティング | o | o | o | o | o | o | o | o | o | o | |
