信頼できる安定した真空環境が不可欠なあらゆる場面で、Edwardsの真空機器が頼りになります。
Edwardsでは、既製または特注のソリューションを通じて、厳しい要求を満たす真空装置をご用意しています。最初のアドバイスから設置およびサポートに至るまで、当社は、分析および調査の中で変化する複雑な要求に対応し、安全で安定した真空環境を提供します。
当社のドライポンプおよびオイルシールポンプシリーズは、信頼性、性能、保守性の高さから、業界の標準となっています。高真空を必要とする用途において、当社のさまざまなハイブリッド軸受けポンプやMaglevターボ分子ポンプは、47~4300 l/sのポンプ速度を発揮します。当社は、超高真空や極高真空に関わる用途において、10~11 mbar以下の圧力を達成するキャプチャイオンポンプシリーズをご用意しています。
高エネルギー物理学 | 大学と実験室 | その他 | |||||||||
加速器/LINAC | ビームラインおよびエンドステーション | 融合 | レーザー | 重力波 | 大学 | 化学実験室 | 一般実験室 | ナノテクノロジー施設 | 宇宙シミュレーション | ||
ロータリベーンポンプ | |||||||||||
1段圧縮 | ES | * | * | * | * | ||||||
2段圧縮 | E2M小型 | * | * | * | * | * | * | * | * | ||
RV | * | * | * | * | * | * | * | * | |||
E2M中型&大型 | * | * | * | * | * | * | * | * | |||
メカニカルブースタ | |||||||||||
EH/pXH | o | o | o | ||||||||
小型ドライポンプ | |||||||||||
ダイヤフラム | D-Lab、XDD1 | o | o | o | o | o | |||||
スクロール | nXDS、XDS | o | o | o | o | o | o | o | o | * | o |
大型ポンプとシステム | |||||||||||
多段ルーツ | iXL(クリーンポンプ) | o | o | o | o | o | o | * | o | ||
iXM(ミディアムデューティ) | o | o | o | o | o | o | o | o | o | ||
クローポンプ | iXH(ハーシュデューティ) | o | o | o | o | o | o | o | o | o | |
iGX(ライト&ミディアムデューティ) | * | * | * | * | * | * | * | o | |||
iH(ハーシュデューティ) | * | * | * | * | * | * | * | o | |||
スクリューポンプ | GXS | o | o | o | o | o | o | o | o | ||
CXS | o | o | o | o | o | o | |||||
高真空ドライポンプ | |||||||||||
EPX | |||||||||||
ターボ分子ポンプ | |||||||||||
ハイブリッド軸受け | nEXT | o | o | o | o | o | o | o | o | - | o |
磁気軸受け | STP | o | o | o | o | o | o | o | o | o | |
ポンプステーション | ターボポンプステーション | o | o | o | o | o | o | o | o | o | |
UHVポンプ | |||||||||||
イオンゲッター | o | o | o | o | o | o | o | ||||
チタンサブリメーション | o | o | o | o | o | o | o | ||||
非蒸発性ゲッター | o | o | o | o | o | o | o | ||||
真空機器 | |||||||||||
測定器およびコントローラ | o | o | o | o | o | o | o | o | o | o | |
リークディテクタ | ELD500 | o | o | o | o | o | o | o | o | o | o |
真空ハードウェア | |||||||||||
バルブ | o | o | o | o | o | o | o | o | o | o | |
パイプラインコンポーネント | o | o | o | o | o | o | o | o | o | o | |
フランジおよびフィッティング | o | o | o | o | o | o | o | o | o | o |