SEMICON JAPAN 2024

当社の革新的なドライポンプ製品群は、半導体および電子機器の製造環境を強化するために設計された最先端のテクノロジーを貴社にもたらします。

メンテナンスフリーの安定した信頼できる性能をお求めであれば、当社のSTP磁気浮上ターボ分子ポンプシリーズが理想的です。ロータが磁気ベアリングにより完全に浮上しているため、長時間の安定稼働、クリーンな排気、ミニマムメンテナンスおよび低振動が求められる用途に最適です。

エドワーズのProteusは天然ガスやその他の炭化水素を使用せずに、PFCおよびその他の地球温暖化ガスの効果的に処理できる排ガス処理装置です。低電力消費で使いやすくコスト効率に優れており、半導体製造のCO2排出量を削減します。

CTI-Cryogenicsは、極低温高真空技術の世界的リーダーです。さまざまなハイテク研究用途で使用される単一のクライオポンプから、半導体、フラットパネル、光学デバイスの製造で使用される洗練されたクライオポンプシステムまで、極低温高真空技術の世界標準を確立しています。

 エドワーズ真空排気システムのSDGsの1例として真空断熱配管による省エネソリューションを提案いたします。これを採用することで配管に使用されている温度マネージメントシステムを簡略化する事ができ、今まで無駄に消費されてきた電気エネルギーの大幅な削減が期待されます。

当日は今回紹介する真空配管の特長、基本性能等の情報と共に試作品を展示いたします。