真空計は、歴史的に真空ポンプと並行して開発されてきました。
圧力の測定は、真空環境の状態の把握、ポンプ停止ルーチン・インターロック・プロセス制御の統合、さらには安全性に至るまで、多くの理由で重要です。
真空計を選ぶ際に考慮すべきこととは？
真空という分野は、その用途において15以上もの幅広さがあるという点で、ほぼ唯一無二のものです。
ポンプと同様、この範囲をカバーできるゲージ機構は一つもありません。ゲージを選択する際には、さらに多くの面と変数を考慮する必要があります。
例として、以下のようなものが挙げられます：
- 精度／不確かさ（系統誤差の範囲）などの技術的パラメータ
- 精度（ランダム誤差のレベル）
- 分解能
- 測定範囲
- 出力のリニアリティ
- 再現性
- 堅牢性（プロセス適合性、耐放射線性、耐磁性）
- 応答時間
さらに、サイズ、通信プロトコル、コストなども選定に関係します。
２種類の主なゲージ
直読式または機械式ゲージ
直読式または機械式ゲージは、圧力を（固体または液体の）単位面積当たりの力として「直接」測定するため、このように呼ばれています。
これらは「全圧計 (ドルトンの法則： 気体の混合物の全圧 = ∑ 各気体の分圧) であり、U字管圧力計、キャパシタンスダイアフラム圧力計、ブルドン管圧力計などがあります。
間接ゲージ
間接ゲージは、最も実用的でよく使用されるゲージで、熱伝導や粘度など、圧力に依存する気体の物理的特性や、数密度に比例する物理量を測定します。
このような全圧ゲージには、ピラニ、ベイヤード・アルパート熱陰極電離（BAG）、ペニング、スピニング・ローター・ゲージなどがあります。イオン化に依存する分圧計（残留ガス分析計）は、真空中の相対成分を分析するために使用できます。
より詳細な研究については、論文「真空圧力計のガス補正係数」(英語)と下記リンクのアプリケーションノートをご覧ください。
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