Analizzatori di gas residui (RAG)

Il perfetto equilibrio tra prestazioni di fascia alta e accessibilità

Analizzatori di gas residui RGA Edwards

Il nostro nuovo RGA comprende due varianti: PRA e WRA. Entrambe presentano un funzionamento semplice ed efficace che garantisce prestazioni ed efficienza elevate.  

Per chi desidera una panoramica istantanea, le unità sono dotate di un unico display integrato in grado di mostrare i principali tipi di gas e la pressione complessiva del sistema senza doversi collegare tramite un laptop.

Analizzatore di gas residui primario PRA

Gli analizzatori RGA PRA di Edwards offrono il perfetto equilibrio tra prestazioni di fascia alta e accessibilità.


Disponibile in quattro varianti per soddisfare le tue esigenze di processo, che tu abbia bisogno di un modello di base o di un prodotto più sensibile o con una maggiore portata, il PRA è il punto di partenza perfetto per l'analisi dei processi.

Analizzatore di gas residui ad ampio spettro WRA

Gli analizzatori RGA WRA di Edwards sono i nostri modelli top di gamma, con specifiche innovative per il mercato.


Disponibile in due varianti 1-200 o 1-300 amu, consente di misurare un'ampia gamma di gas/prodotti dei tuoi processi.


Presenta inoltre una maggiore sensibilità rispetto al PRA per consentire una maggiore precisione delle tue misurazioni.

Misurazione della pressione totale

per il controllo completo del processo

Doppio filamento

per ottimizzare l'affidabilità e i tempi di attività

Sul display dell'unità

per misurazioni di base senza PC

Parti sostituibili dal cliente
Funzione di degassaggio
Protezione della sorgente di ioni e degli EM
Gli RGA analizzano i gas e la loro composizione, il che è necessario per:

  • Rilevamento e identificazione delle perdite
  • Rilevamento e identificazione dei contaminanti 
  • Verifica della purezza del gas
  • Controllo qualità del prodotto/processo
  • Diagnostica e controllo dell'apparecchiatura e dell'apparecchiatura di processo
  • Resa e prestazioni dei processi ottimizzate

La soluzione perfetta per un'ampia gamma di applicazioni:

  • Processi relativi ai semiconduttori
  • Film sottile e display
  • Trattamento termico tramite vuoto
  • Liofilizzazione tramite vuoto
  • Ricerca e sviluppo
  • Fisica delle alte energie