Pompe criogeniche On-board IS

Tecnologia criogenica innovativa ad alta efficienza

Prestazioni di vuoto ed efficienza energetica ineguagliabili

 Un sistema di controllo distribuito brevettato monitora e regola costantemente i singoli elementi del sistema a pompa criogenica per mantenere prestazioni di vuoto ottimali in tutto il sistema per una coerenza di processo eccezionale. Le pompe criogeniche On-Board IS offrono il più alto tempo di funzionamento, la migliore produttività e il più basso costo di proprietà complessivo rispetto a qualsiasi sistema a pompa criogenica attualmente disponibile, con il supporto dell'efficientissima rete globale di assistenza e manutenzione Edwards.

Funzioni principali

  • Il sistema di controllo distribuito brevettato monitora e regola costantemente i singoli elementi del sistema a pompa criogenica
  • Mantiene prestazioni di vuoto ottimali in tutto il sistema, garantendo un'eccezionale uniformità del processo
  • Rigenerazioni più rapide in configurazioni a pompa singola e multipompa
  • Basso consumo di energia e di acqua di raffreddamento senza compromessi nelle prestazioni di vuoto
  • Facile integrazione di sistema
  • Rapida installazione di produzione
  • Monitoraggio remoto potenziato per la manutenzione preventiva e predittiva

La pompa criogenica IS 320FX On-Board®, progettata specificamente per affrontare le sfide degli odierni processi di impianto di ioni, consente una maggiore velocità e capacità di pompaggio dell'idrogeno, mantenendo la qualità, le prestazioni e l'affidabilità che si possono prevedere. 

  • Specificamente progettata per applicazioni di impianto di ioni
  • Ottimizzata per la produttività degli utensili
  • Tecnologia intelligente di "auto-regolazione"
  • Costi di proprietà più bassi
  • Maggiore tempo di funzionamento.

 

La pompa criogenica IS XP On-Board® offre una maggiore capacità per le applicazioni PVD per ottenere la massima produttività mantenendo la trasparenza del processo. Allo stesso tempo, sfrutta la comprovata efficienza energetica, le prestazioni costanti e i bassi costi di proprietà che ci si aspetta da On-Board® IS. 

  • Offre funzioni generali per futuri miglioramenti del processo
  • Costi di proprietà più bassi
  • Maggiore tempo di funzionamento
  • Tecnologia intelligente di "auto-regolazione" per prestazioni di vuoto costanti