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Pompe criogeniche On-Board IS Edwards

Pompe criogeniche On-Board IS

Tecnologia criogenica innovativa ad alta efficienza

Prestazioni di vuoto ed efficienza energetica ineguagliabili

Un sistema di controllo distribuito brevettato monitora e regola costantemente i singoli elementi del sistema della pompa criogenica per mantenere prestazioni ottimali del vuoto a livello di sistema e un'eccezionale uniformità del processo. Le pompe criogeniche On-Board IS offrono i massimi tempi di attività, la migliore produttività e i costi complessivi di proprietà più bassi di qualsiasi sistema analogo oggi disponibile, con il supporto della rete di assistenza e supporto globale altamente reattiva di Edwards.

 

Caratteristiche principali

  • Il sistema di controllo distribuito brevettato monitora e regola costantemente i singoli elementi del sistema a pompa criogenica
  • Mantiene prestazioni di vuoto ottimali in tutto il sistema, garantendo un'eccezionale uniformità del processo
  • Rigenerazioni più rapide in configurazioni a pompa singola e multipompa
  • Basso consumo di energia e di acqua di raffreddamento senza compromessi nelle prestazioni di vuoto
  • Facile integrazione di sistema
  • Rapida installazione di produzione
  • Monitoraggio remoto potenziato per la manutenzione preventiva e predittiva
 

La pompa criogenica IS 320FX On-Board®, progettata specificamente per affrontare le sfide degli odierni processi di impianto di ioni, consente una maggiore velocità e capacità di pompaggio dell'idrogeno, mantenendo la qualità, le prestazioni e l'affidabilità che si possono prevedere. 

  • Specificamente progettata per applicazioni di impianti di ioni
  • Ottimizzata per la produttività degli utensili
  • Tecnologia intelligente di "auto-regolazione"
  • Costi di gestione ridotti
  • Maggiori tempi di attività

 

La pompa criogenica IS XP On-Board® offre una maggiore capacità per le applicazioni PVD, consentendo di ottenere la massima produttività mantenendo al contempo la trasparenza dei processi. Allo stesso tempo, sfrutta la comprovata efficienza energetica, le prestazioni costanti e i bassi costi di gestione che ci si aspetta da On-Board® IS. 

  • Offre funzioni generali per futuri miglioramenti del processo
  • Costi di gestione ridotti
  • Maggiore tempo di funzionamento
  • Tecnologia intelligente di "auto-regolazione" per prestazioni di vuoto costanti

 

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