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Proteus

Il nuovo punto di riferimento per l'abbattimento dei gas serra

Proteus di Edwards

Proteus di Edwards consente il trattamento efficace dei PFC e di altri gas che provocano il riscaldamento globale senza l'uso di gas naturale o di altri idrocarburi. 

Proteus è una soluzione a basso consumo di energia, facile da usare e conveniente per ridurre l'impronta di carbonio della produzione di semiconduttori.

  • Tecnologia al plasma a bassa potenza e ad alta efficienza
  • Modulazione di potenza al plasma
  • Basse emissioni di NOx
  • MTBS lunga
  • Protezione dei tempi di funzionamento con Proteus Dual

  1. Una tecnologia al plasma unica nel suo genere, a bassa potenza, che raggiunge un'elevata efficienza di distruzione (DRE) dei gas PFC come il CF4 e di altri gas a riscaldamento globale come SF6, NF3 ed N2O che rende Proteus una delle soluzioni più convenienti in termini di costi per l'abbattimento dei gas a riscaldamento globale provenienti dai processi di produzione dei semiconduttori.
  2. La potenza operativa di Proteus Plasma è completamente regolabile in funzione del carico di gas in ingresso, consentendo agli utenti di ridurre al minimo il consumo di energia, pur mantenendo un'efficienza di trattamento ottimale. Interfacciandosi con lo strumento di processo e la modulazione automatica della potenza del plasma, offre ulteriori opzioni per ridurre i costi operativi, mantenendo al tempo stesso le più alte prestazioni ambientali.
  3. L'abbattimento dei gas PFC richiede temperature elevate che favoriscono la formazione di gas NOx. La tecnologia Proteus Plasma è stata sviluppata per ridurre al minimo le emissioni di "thermal NOx" ed è ora uno dei principali sistemi di abbattimento dei PFC "low NOx".
  4. La distruzione delle molecole di PFC tende ad aumentare il carico acido attraverso la creazione di composti tossici e corrosivi solubili in acqua. Il cannello Proteus Plasma e le fasi di lavaggio a umido sono stati specificamente progettati per ridurre al minimo la corrosione dei componenti. In combinazione con un'eccellente capacità di trattamento della polvere, Proteus è in grado di ottenere una MTBS lunga mantenendo un ambiente di lavoro sicuro a livello di Fab.
  5. Proteus Dual offre una soluzione di "backup" completamente integrata per aiutare a garantire la disponibilità dell'abbattimento senza la necessità di complicate tubazioni e interfacciamento, diventando pertanto una soluzione economica e facile da installare. Contribuisce a sostenere i tempi di attività del processo e a ridurre l'ingombro e i costi di installazione, migliorando al contempo la sicurezza a livello Sub Fab.

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