Proteus di Edwards
Proteus di Edwards consente il trattamento efficace dei PFC e di altri gas che provocano il riscaldamento globale senza l'uso di gas naturale o di altri idrocarburi.
Proteus è una soluzione a basso consumo di energia, facile da usare e conveniente per ridurre le emissioni di anidride carbonica della produzione di semiconduttori.
- Tecnologia al plasma a bassa potenza e ad alta efficienza
- Modulazione di potenza al plasma
- Basse emissioni di NOx
- MTBS lungo
- Protezione dei tempi di attività con Proteus Dual
- Un'esclusiva tecnologia al plasma a bassa potenza che consente di ottenere un'elevata efficienza del tasso di distruzione (DRE, Destruction Rate Efficiency) dei gas PFC come CF4 e altri gas che provocano il riscaldamento globale come SF6, NF3 e N2O. Ciò rende Proteus una delle soluzioni più convenienti per l'abbattimento dei gas che provocano il riscaldamento globale provenienti dai processi di produzione dei semiconduttori.
- La potenza di funzionamento del plasma di Proteus è completamente regolabile in funzione del carico di gas in ingresso, consentendo agli utenti di ridurre al minimo il consumo energetico pur mantenendo un'efficienza di trattamento ottimale. L'interfacciamento con lo strumento di processo e la modulazione automatica della potenza del plasma offrono ulteriori opportunità per ridurre i costi di esercizio mantenendo al contempo le massime prestazioni ambientali.
- La riduzione dei gas PFC richiede temperature elevate che favoriscono la formazione di gas NOx. La tecnologia al plasma di Proteus è stata sviluppata per ridurre al minimo le emissioni di "NOx termici" ed è oggi uno dei principali sistemi di riduzione dei PFC con "bassi NOx".
- La distruzione delle molecole di PFC tende ad aumentare il carico acido attraverso la creazione di composti tossici e corrosivi idrosolubili. La torcia al plasma di Proteus e le fasi di scrubbing a umido sono state appositamente progettate per ridurre al minimo la corrosione dei componenti. Combinato con un'eccellente capacità di gestione delle polveri, Proteus è in grado di ottenere un MTBS lungo mantenendo un ambiente di lavoro sicuro nella Fab.
- Proteus Dual offre una soluzione di "backup" completamente integrata che contribuisce a garantire la disponibilità delle operazioni di abbattimento senza la necessità di complicate tubazioni e interfacce. Proteus Dual è una soluzione conveniente e facile da installare. Aiuta a mantenere i tempi di attività dei processi, a ridurre l'ingombro e i costi di installazione, migliorando al contempo la sicurezza della sub-fab.
Contattaci per scoprire come Proteus può aiutarti a raggiungere i tuoi obiettivi ambientali.
