Esistono diversi contributi al carico di gas di un sistema. A pressioni inferiori a circa 0,1 mbar, spesso predomina il "degasaggio". Il degasaggio è il risultato del desorbimento di molecole adsorbite in precedenza, della diffusione di materiale sfuso, della permeazione e della vaporizzazione. L'adsorbimento avviene attraverso due processi principali, ovvero l'adsorbimento fisico e il chemiadsorbimento, e può essere descritto utilizzando cinque (o sei) isoterme di classificazione.
Osservando il tasso di desorbimento, la velocità di pompaggio e il re-adsorbimento sulle superfici, è possibile calcolare il degasaggio netto del sistema.
Come illustrato nello schema 1, i contributi al carico di gas di un sistema possono provenire da:
Per un sistema a tenuta stagna in condizioni di alto vuoto (HV) senza carico di processo, il degasaggio può contribuire fino al 100% del carico di gas.
Schema 1: carichi di gas in un sistema per vuoto
Il contributo relativo di diverse specie al carico di gas varia in base alla pressione. Per numerose applicazioni ad alto vuoto, il vapore acqueo è il problema principale in termini di degasaggio. Tuttavia, per ottenere un ultra alto vuoto in tutti i sistemi metallici, il degasaggio di H2 è fondamentale.
La tabella seguente riporta i carichi di gas principali tipici a varie pressioni.
Pressione (mbar) |
Carico di gas principale |
Atmosfera |
Aria (N2, O2, H2O, Ar, CO2) |
10-3 |
Vapore acqueo (75-95%), N2, O2 |
10-6 |
H2O, CO, CO2, N2 |
10-9 |
CO, H2, CO2, H2O |
10-10 |
H2, CO |
10-11 |
H2, CO |
La misura in cui ciascuno di questi meccanismi contribuisce al degasaggio dipende dalla composizione del gas e del materiale della superficie (e della sua storia). I tassi di degasaggio sono l'insieme di questi contributi.
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