Analyseurs de gaz résiduels RGA

L'équilibre parfait entre hautes performances et rentabilité

Analyseurs de gaz résiduels (RGA) d'Edwards

Nos nouveaux analyseurs de gaz résiduels incluent deux modèles : PRA et WRA, tous deux faciles à utiliser et efficaces, qui garantissent d'excellentes performances.  

Pour ceux qui veulent une analyse instantanée, chaque unité dispose d'un afficheur intégré, qui permet d'afficher les principaux types de gaz ainsi que la pression totale de votre système sans avoir à vous connecter à un ordinateur portable.

Analyseur de gaz résiduels primaires PRA

Les RGA PRA d'Edwards offrent le parfait équilibre parfait entre hautes performances et manipulation simple.


Disponibles en quatre modèles pour répondre aux besoins de vos procédés, que vous ayez besoin d'un modèle de base ou d'un appareil plus sensible avec une plage plus grande de possibilités, le RGA PRA est l'instrument parfait pour analyser votre procédé.

Analyseur WRA pour une large gamme de gaz résiduels

Les RGA WRA d'Edwards sont nos modèles haut de gamme. Ils offrent les meilleures spécifications techniques du marché.


Disponibles en deux variantes (1-200 ou 1-300 amu), ils permettent de mesurer une large gamme de gaz/sous-produits présents dans vos procédés.


Cela s'accompagne d'une sensibilité accrue par rapport aux PRA et permet une grande précision dans vos mesures.

Mesure des pressions totales

Un contrôle total sur les procédés

Deux filaments

Pour une fiabilité et une disponibilité optimales

Sur afficheur

Pour les mesures de base sans PC

Parties remplaçables par le client
Fonction de dégazage
Protection de la source d'ions et EM
Les RGA analysent les gaz et leur composition, ce qui est nécessaire pour les domaines suivants :

  • Détection et identification de fuites
  • Détection et identification des contaminants 
  • Vérification de la pureté du gaz
  • Assurance qualité des produits/processus
  • Diagnostic et commande d'équipements de traitement
  • Optimisation des performances et du rendement des procédés

La solution idéale pour une large gamme d'applications :

  • Procédés semi-conducteurs
  • Pellicules fines et affichage
  • Traitement thermique sous vide
  • Lyophilisation sous vide
  • Recherche et développement
  • Physique des hautes énergies