Analyseur de gaz de procédé Edwards - Contrôle des procédés en temps réel pour les applications de semi-conducteurs
iTrap® est un spectromètre de masse par transformation de Fourier de type piège ionique, compact et à très haute sensibilité. C'est l'outil idéal pour l'analyse et le contrôle des procédés en ligne. Il peut être utilisé dans les environnements de production comme de recherche et de développement. La technologie iTrap vous aide à détecter de manière fiable les plus petites traces de contamination ou de sous-produits d'une réaction ; il vous aide à évaluer l'efficacité des nettoyages et à analyser l'état de la chambre. Le spectre de masse est mesuré quasiment en temps réel. Vous pouvez effectuer le suivi de très faibles quantités de molécules dans votre chambre de traitement. iTrap est un outil puissant entre les mains d'un chercheur ou d'un ingénieur de développement de procédés. Il peut également être utilisé en tant que capteur intelligent, intégré et contrôlé par d'autres outils de traitement.
La technologie Edwards iTrap offre les atouts suivants :
