Compresseurs

Un convertisseur de fréquence intégré assure à la pompe cryogénique une performance maximale dans les applications à 50 Hz et 60 Hz pour l'ensemble des pompes à vide d'Edwards.

• Conçu spécifiquement pour une longue durée de vie, une grande fiabilité et une grande facilité d'utilisation, ce compresseur offre des performances exceptionnelles avec toutes les pompes cryogéniques Cryo-Torr®, les pompes cryogéniques On-Board®, les pompes à eau On-Board® et les pompes à vide TurboPlus On-Board®. Le 9600 prend en charge les configurations à pompe unique et groupée et est compatible avec les installations de pompage CTI-Cryogenics dans le monde entier.

• Grâce à son débit d'hélium accru, le compresseur 9700A est idéal pour l'utilisation de plusieurs pompes cryogéniques. Dans de nombreuses applications avec pompes cryogéniques embarquées et pompes à eau, un compresseur 9700A fournit une solution de compresseur unique. Le compresseur 9700A, qui réduit la consommation d'énergie, la distribution d'eau et l'encombrement par rapport aux applications à compresseurs multiples, est compatible avec les pompes cryogéniques On-Board® et Cryo-Torr®.

• Compresseur IS-1000 - la technologie de compresseur intelligente à haut rendement pour les pompes cryogéniques IS On-Board®. Le compresseur IS-1000 prend en charge jusqu'à six pompes cryogéniques IS-8F On-Board® sur circuit dans le même encombrement qu'un compresseur 9600.
  Compresseur IS-2000V : offre une consommation d'énergie minimale à toutes les phases de fonctionnement grâce à la combinaison d'une pression plus élevée, d'une technologie rotative et d'une alimentation en hélium adaptable, en adéquation avec les objectifs SEMI S-23. L'IS-2000V remplace deux compresseurs IS-1000 On-Board. Ce compresseur à hélium haute capacité est conçu pour prendre en charge les applications de pompe cryogénique IS On-Board®. Un convertisseur de fréquence de puissance de pompe cryogénique intégré garantit des performances maximales de la pompe cryogénique dans les applications à 50 et 60 Hz.