Les refroidisseurs cryogéniques Edwards PolyCOLD® MaxCool sont des systèmes de réfrigération cryogénique en boucle fermée qui capturent efficacement la vapeur d'eau, qui représente 65 à 95 % du gaz résiduel dans les systèmes à vide élevé.
Ces refroidisseurs cryogéniques peuvent être utilisés pour capturer la vapeur d'eau et d'autres substances condensables en les gelant sur une surface froide telle qu'un déflecteur à chevron ou à serpentin cryogénique. Les refroidisseurs cryogéniques MaxCool sont également utilisés pour refroidir et chauffer des objets tels que des mandrins électrostatiques utilisés dans le traitement des plaquettes de semi-conducteurs. Les différents modèles de notre gamme offrent un refroidissement de 2 000, 2 500 ou 4 000 watts.
La vapeur d'eau est généralement le contaminant le plus réactif présent dans les systèmes à vide élevé. Avec nos refroidisseurs cryogéniques MaxCool, vous pouvez vous attendre à une augmentation de 20 % à 100 % du rendement de vos produits dans votre système existant et à une amélioration de la qualité du dépôt.
Lorsqu'ils sont ajoutés à votre système de vide, les refroidisseurs cryogéniques MaxCool peuvent réduire considérablement les temps de pompage et augmenter le rendement des produits. Le MaxCool pompe la vapeur d'eau en quelques minutes à partir du démarrage et peut se dégivrer en moins de quatre minutes, ce qui permet un cycle rapide. Il est également doté d'une option appelée Rapid Cool to Cool, qui élimine le délai d'attente après dégivrage, ce qui permet à votre système d'effectuer plus de cycles de production par équipe.
Nos refroidisseurs cryogéniques MaxCool utilisent des mélanges de réfrigérant PolyCold® brevetés et fonctionnent selon le principe du piégeage Meissner. La vapeur d'eau est captée par condensation sur une surface refroidie par cryogénie, appelée bobine Meissner. Le Meissner (serpentin cryogénique) est monté directement dans la chambre à vide de sorte que la conductance n'est pas limitée par les orifices, les collecteurs, les vannes et les déflecteurs. Le serpentin cryogénique est facile à installer et peut être adapté à n'importe quel système. Il n'a pas besoin d'une vanne à vide élevé.
Les refroidisseurs cryogéniques MaxCool constituent l'option la plus rentable que vous puissiez ajouter à tout système de pompe à diffusion, de pompe turbomoléculaire ou de pompe cryogénique utilisant de l'hélium.
Les refroidisseurs cryogéniques MaxCool sont conformes au règlement européen 1005/2009/CE portant sur l'utilisation des réfrigérants, au Protocole de Montréal et à la réglementation américaine EPA-SNAP.
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MaxCool 2000 |
MaxCool 2500L |
MaxCool 4000H |
Capacité de refroidissement maximale |
2 000 W |
2 500 W |
4 000 W |
Température à la capacité de refroidissement maximale |
-111 °C |
-120 °C |
-98 °C |
Température la plus froide |
-142 °C |
-145 °C |
-133 °C |
Pression de fonctionnement maximale (25 % de la vitesse de pompage maximale) |
3E-9 torr |
8E-10 torr |
5E-8 torr |
Zone de piège froid type |
1,1 m2 |
1,4 m2 |
2,2 m2 |
Vitesse maximale de pompage de vapeur d'eau à partir de la zone de piège froid type |
163 900 l/s |
208 600 l/s |
327 800 l/s |
Zone de piège froid maximale conservatrice* |
1,5 m2 |
2,0 m2 |
2,8 m2 |
Consommation électrique (mode veille) |
5,5 kW |
11,4 kW |
12,0 kW |
Consommation électrique (mode froid, charge type) |
6,2 kW |
13,9 kW |
12,4 kW |
Consommation électrique (mode froid, charge max.) |
8,8 kW |
19,2 kW |
19,2 kW |
Débit d'eau de refroidissement à 13 °C |
6,8 l/min |
15,1 l/min |
15,1 l/min |
Débit d'eau de refroidissement à 18 °C |
9,1 l/min |
18,2 l/min |
18,2 l/min |
Débit d'eau de refroidissement à 24 °C |
13,6 l/min |
27,3 l/min |
27,3 l/min |
Débit d'eau de refroidissement à 29 °C |
27,6 l/min |
54,1 l/min |
54,1 l/min |
Conforme à la directive européenne « équipements sous pression » |
Oui |
Oui |
Oui |
Réfrigérants non toxiques |
Oui |
Oui |
Oui |
Réfrigérants ininflammables |
Oui |
Oui |
Oui |
