Colonne de traitement de gaz (GRC) d’Edwards
Spécialement conçue pour permettre l’élimination sûre des gaz dangereux issus des échappements de la pompe à vide lors de procédés impliquant des semi-conducteurs.
La GRC constitue un réacteur à lit chaud unique qui détruit chimiquement les gaz toxiques. La colonne traite la gamme la plus complète de mélanges gazeux dans un même système sans créer de nouveaux effluents à éliminer. Un mélange particulier de granulés inorganiques est conservé à l’intérieur d’une cartouche soudée en acier inoxydable. Maintenu à température élevée à travers un dispositif de chauffage électrique tubulaire. Les gaz d’échappement dangereux qui passent dans la cartouche subissent une réaction chimique et sont transformés en sels inorganiques inertes et stables.
- Système DRY, qui peut être directement raccordé à l’échappement de la pompe à vide
- Aucun risque de rétrodiffusion d’humidité
- Aucun risque de désorption des gaz toxiques
- Transformation chimique complète des gaz en sels inertes et stables
- Aucun déchet solide ou liquide toxique à éliminer
- Cartouches usagées certifiées comme étant des déchets non dangereux
- Possibilité de recycler les cartouches usagées pour ne produire aucun déchet
- Le remplacement de la cartouche est une opération simple et sans risque
- Absence de combustible et de flammes, donc aucun risque de générer des sous-produits toxiques
- Les raccords n’exigent qu’un minimum d’entretien Les tuyaux d’admission peuvent être maintenus à 120 °C pour réduire les dépôts solides
