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Thin Film Deposition System

Système développé par Vinci Technologies et équipé Edwards

Vinci Technologies présente son système PVD-4 équipé de matériels Edwards

Le PVD4 est équipé de matériels Edwards : 

  • la pompe Turbo nEXT300D,
  • la pompe à spirale nXDS6i
  • une jauge WRG
  • une jauge active APG100
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