Edwards célèbre 100 ans d’innovation à SEMICON Korea

23 janvier 2019

100 ans de Edwards Vacuum

Edwards Celebrates 100 Years of Innovation at SEMICON Korea

Cette année, à SEMICON® Korea, Edwards présentera des solutions innovantes permettant aux fabricants de puces électroniques de rester compétitifs sur le marché actuel, exigeant et diversifié. La demande croissante de conceptions plus complexes au sein de nœuds technologiques plus petits a entraîné la mise en œuvre de nombreux processus de fabrication de semi-conducteurs utilisant une grande variété d’approches technologiques et de matériaux. Tous reposent sur de nouvelles méthodologies de vide et de traitement de gaz pour une mise en œuvre réussie.

Edwards célèbre cette année 100 ans d’innovation technologique. Il va présenter de nouvelles approches en matière d’innovation, de productivité et de sécurité lors de deux présentations à SEMICON Korea :

˗ « Précurseurs CVD et sous-produits associés - Assurer une productivité maximale de la chambre », par Al Brightman, Sr. Responsable produit, Edwards. Ce document présente des solutions de vide optimales conçues pour réduire les temps d’arrêt de l’équipement et améliorer la productivité de l’usine. En outre, les risques pour la santé et la sécurité peuvent être considérablement réduits (mercredi 23 janvier, salle 308). ˗ « Activation des technologies de gravure 3D et du rapport d’aspect élevé par le biais d’un vide de procédé sur chambre », par Adam Stover, responsable applications, Edwards. Ce document aborde les problèmes de pompage traditionnels et les solutions éprouvées, mais également les nouveaux problèmes d’application susceptibles de générer des structures plus complexes de NAND 3D, de DRAM et d’autres structures de dispositifs (jeudi 24 janvier, salle 307).

Sur son stand (D104), Edwards présentera un modèle de nouvelle génération de sa populaire pompe à vide sèche iXH spécialement conçue pour traiter les gaz condensables. Elle offre une capacité de température plus élevée pour les processus difficiles.

« La gestion sûre et efficace de l’échappement des processus est une préoccupation croissante aujourd’hui, en particulier avec la mise en place de limites d’émission de plus en plus strictes dans le monde », a déclaré Jason Yun, directeur général d’Edwards Korea. « Parallèlement, les technologies de pointe introduisent de nouveaux matériaux et procédés qui présentent des défis, nécessitant chacun une solution de vide et de traitement des gaz optimisée. Par exemple, notre pompe iXH de nouvelle génération est spécialement conçue pour empêcher l’accumulation de matières condensables à l’intérieur de la pompe. » Yun ajoute : « Alors qu’Edwards célèbre son 100e anniversaire cette année, nous sommes impatients de continuer à collaborer étroitement avec nos clients pour créer des solutions qui leur permettent d’innover. »

Rendez-vous chez Edwards sur le stand D104 lors de SEMICON Korea pour en savoir plus sur les solutions d’atelier et les services à valeur ajoutée. SEMICON Korea aura lieu du 23 au 25 janvier au COEX, à Séoul, en Corée.