• Solutions de classe mondiale | Nos produits les plus demandés

    • Product_Rotator_Atlas_Abatement Traitement Atlas
      Des solutions de traitement de gaz de combustion permettant aux fabricants de semi-conducteurs, d'écrans plats, de cellules photovoltaïques et de MOCVD de réduire leurs frais de fonctionnement et offrant une plus grande simplicité d'emploi.
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    • Product_Rotator_EPX_Pump Pompes sèches EPX
      Conviennent aux applications propres et légères de traitements de semi-conducteurs comme l'incinération/le décapage et aux applications d'implantation des stations terminales.
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    • Product_Rotator_IPUP2 Pompe sèche IPUP2
      Pompe sèche de 180 m3/h compacte, à faible consommation d’énergie, destinée à la manipulation de plaquettes et autres applications propres. Pompage rapide de chambres de sas et une consommation d'énergie réduite. 
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    • Product_Rotator_iXL120 Pompes sèches iXL
      Couvrent l'ensemble des besoins de pompage des secteurs des écrans plats (FPD) et des cellules photovoltaïques.
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    • Product_Rotator_CXS_Pump Pompes sèches CXS
      Offrent un pompage d'une grande fiabilité et sans effluent, même dans les applications de traitement de produits chimiques et pharmaceutiques les plus difficiles.
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    • Product_Rotator_Gamma_Ion Pompes UHV Gamma
      Créent des environnements de vide poussé (HV) et de vide très poussé (UHV) pour diverses applications, des spectromètres de masse portables aux grands accélérateurs de particules.
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    • Product_Rotator_GXS_Pump Pompes sèches GXS
      Une technologie à vis propriétaire et à un entraînement à haute énergie à la pointe de l'industrie, permettant une régulation avancée de la température et de longs intervalles d'entretien, garantissant des vitesses de pompage de tout premier ordre, ainsi que des frais d'exploitation réduits.
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    • Product_Rotator_IXH_Pump Pompes sèches iXH
      Vitesses de pompage de pointe élevées ; des fonctions assurant une fiabilité maximale pour les procédés difficiles. Répondent aux besoins grandissants en matière de débit de gaz dans les industries des écrans plats, des semi-conducteurs pour cellules photovoltaïques et des LED. 
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    • Product_Rotator_nEXT_Pump Pompes turbomoléculaires nEXT
      Définissent les standards en matière de pompes turbomoléculaires. Proposent la meilleure fiabilité, performance et facilité d'entretien des pompes turbomoléculaires pour l'utilisateur final.
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    • Product_Rotator_nXDS_Pump Pompes à spirales nXDS
      Capacité de pompage exceptionnelle, performances de vide limite optimales et fonctions de conception de pointe ; les pompes les plus performantes de leur catégorie.
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    • Product_Rotator_SpectraG_Abatement Système de traitement Spectra G
      Solution de traitement des effluents gazeux économique et à haute performance pour la fabrication de MOCVD à base de nitrure.
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    • Product_Rotator_STP_Pump Pompes turbomoléculaires STP
      Système de paliers magnétiques multiaxes utilisé pour suspendre le rotor pendant le fonctionnement, garantissant ainsi l’absence de risque de contamination tout en minimisant les vibrations, le bruit et les exigences d’entretien. Idéal pour les applications nécessitant un temps d'utilisation élevé et un pompage sans hydrocarbures.
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    • Product_Rotator_iGX Pompes sèches iGX
      Proposées dans une large plage de débits maximaux et de modèles afin de répondre aux diverses applications allant des procédés propres à modérés.
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    • Product_Rotator_EZENITH EZENITH
      Un portefeuille avancé de systèmes proposant des solutions intégrées de vide et de traitement des effluents gazeux pour toutes vos applications de procédés de semi-conducteurs.
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    • Product_Rotator_iH1000 Pompes sèches iH
      Pompes extrêmement fiables et économiques pour les procédés difficiles impliquant des sous-produits corrosifs, condensables ou particulaires.
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    • Product_Rotator_ES_Pump Pompes ES
      Optimisation de la productivité et des performances. Des progrès considérables en matière de pompes rotatives à palettes à joint d'huile à un étage.
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    • Product_Rotator_Atlas_Abatement Traitement Atlas
      Des solutions de traitement de gaz de combustion permettant aux fabricants de semi-conducteurs, d'écrans plats, de cellules photovoltaïques et de MOCVD de réduire leurs frais de fonctionnement et offrant une plus grande simplicité d'emploi.
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    • Product_Rotator_EPX_Pump Pompes sèches EPX
      Conviennent aux applications propres et légères de traitements de semi-conducteurs comme l'incinération/le décapage et aux applications d'implantation des stations terminales.
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    • Product_Rotator_IPUP2 Pompe sèche IPUP2
      Pompe sèche de 180 m3/h compacte, à faible consommation d’énergie, destinée à la manipulation de plaquettes et autres applications propres. Pompage rapide de chambres de sas et une consommation d'énergie réduite. 
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    • Product_Rotator_iXL120 Pompes sèches iXL
      Couvrent l'ensemble des besoins de pompage des secteurs des écrans plats (FPD) et des cellules photovoltaïques.
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    • Product_Rotator_CXS_Pump Pompes sèches CXS
      Offrent un pompage d'une grande fiabilité et sans effluent, même dans les applications de traitement de produits chimiques et pharmaceutiques les plus difficiles.
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    • Product_Rotator_Gamma_Ion Pompes UHV Gamma
      Créent des environnements de vide poussé (HV) et de vide très poussé (UHV) pour diverses applications, des spectromètres de masse portables aux grands accélérateurs de particules.
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    • Product_Rotator_GXS_Pump Pompes sèches GXS
      Une technologie à vis propriétaire et à un entraînement à haute énergie à la pointe de l'industrie, permettant une régulation avancée de la température et de longs intervalles d'entretien, garantissant des vitesses de pompage de tout premier ordre, ainsi que des frais d'exploitation réduits.
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    • Product_Rotator_IXH_Pump Pompes sèches iXH
      Vitesses de pompage de pointe élevées ; des fonctions assurant une fiabilité maximale pour les procédés difficiles. Répondent aux besoins grandissants en matière de débit de gaz dans les industries des écrans plats, des semi-conducteurs pour cellules photovoltaïques et des LED. 
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    • Product_Rotator_nEXT_Pump Pompes turbomoléculaires nEXT
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    • Product_Rotator_nXDS_Pump Pompes à spirales nXDS
      Capacité de pompage exceptionnelle, performances de vide limite optimales et fonctions de conception de pointe ; les pompes les plus performantes de leur catégorie.
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      Solution de traitement des effluents gazeux économique et à haute performance pour la fabrication de MOCVD à base de nitrure.
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    • Product_Rotator_STP_Pump Pompes turbomoléculaires STP
      Système de paliers magnétiques multiaxes utilisé pour suspendre le rotor pendant le fonctionnement, garantissant ainsi l’absence de risque de contamination tout en minimisant les vibrations, le bruit et les exigences d’entretien. Idéal pour les applications nécessitant un temps d'utilisation élevé et un pompage sans hydrocarbures.
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    • Product_Rotator_iGX Pompes sèches iGX
      Proposées dans une large plage de débits maximaux et de modèles afin de répondre aux diverses applications allant des procédés propres à modérés.
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      Un portefeuille avancé de systèmes proposant des solutions intégrées de vide et de traitement des effluents gazeux pour toutes vos applications de procédés de semi-conducteurs.
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      Pompes extrêmement fiables et économiques pour les procédés difficiles impliquant des sous-produits corrosifs, condensables ou particulaires.
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      Optimisation de la productivité et des performances. Des progrès considérables en matière de pompes rotatives à palettes à joint d'huile à un étage.
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