• Servicios avanzados de diagnóstico de Edwards

    Los servicios avanzados de diagnóstico (EADS) de FabWorks-iMS ofrecen algoritmos de múltiples parámetros para prever la aparición de los problemas relacionados con el proceso en la bomba de vacío y equipo de reducción. Estos servicios pueden reducir considerablemente los costos y mejorar la productividad al:

    • minimizar el número de lotes de obleas desechados y tiempo de inactividad no planificado de la herramienta;
    • maximizar el rendimiento de la oblea;
    • proporcionar el menor costo total de propiedad (TCO) al prestar servicio al equipo cuando sea necesario.

    Modelos:
    está disponible una gama de modelos EADS de FabWorks-iMS EADS:

    • Deposición de la bomba seca
    • Deposición de la bomba del impulsor
    • Bloqueos de la cámara de combustión de reducción
    • Bloqueos de escape/sifón
    • Contaminación del sistema turbo (en desarrollo)
    • Detección de fugas del sistema turbo (en desarrollo)

    Para cada modelo, por lo general hay tres alertas en dos niveles.

    EADS_Warning_Table

  • Nuestra historia

    Cuando F.D. Edwards comenzó a fabricar equipos de vacío en 1939, realizó un compromiso con la innovación técnica que permanece sólidamente en el corazón de lo que hacemos en la actualidad.

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