Your browser is not supported

Está utilizando un navegador que ya no es compatible. Para seguir visitando nuestra página web, utilice uno de los siguientes navegadores compatibles.

Bomba turbo

Nos preocupamos por la sostenibilidad y trabajamos para garantizar que las cosas que hacemos, y la manera en que las hacemos, sean más sostenibles. Hemos realizado varios cambios importantes en el diseño de productos, los cuales están impulsados por consideraciones medioambientales. El uso eficiente de los recursos es crucial en el diseño y desarrollo de nuestros productos, lo que reduce el costo de propiedad de los clientes con especial énfasis en la reducción del consumo de energía y agua.

Emisiones de carbono reducidas en los productos de última generación

Bombas primarias

Es importante reducir el consumo de energía de nuestros clientes con respecto a las bombas de procesos de la industria de los semiconductores, ya que es uno de los consumos de energía más grandes en una herramienta de proceso que, a su vez, puede suponer un tercio del uso de energía de una fábrica de semiconductores (investigación de energía de SEMATECH). La base instalada de forma global de bombas de vacío de semiconductores consume la energía equivalente de Sheffield en el Reino Unido o Plano en Texas, EE. UU.

Diseñamos para ahorrar energía y reducir los costos de los servicios públicos sin comprometer la confiabilidad. Mediante un proceso de diseño de plataforma, cada generación sucesiva de nuestras bombas primarias consume menos energía. Por ejemplo, las bombas en seco de última generación utilizan aproximadamente un 30 % menos de energía que antes. Ahora, con la introducción del control activo de servicios (del inglés Active Utility Control, AUC) reducimos el consumo de energía y de servicios públicos aún más cuando las bombas están inactivas y usan las señales de la herramienta.

Nos aseguramos de que las ventajas de nuestra tecnología de plataforma de última generación se utilicen en toda nuestra gama de bombas. Estas ventajas están disponibles para los clientes que utilizan bombas de generaciones anteriores a través de los programas de actualización de la eficiencia energética de Edwards.

También aconsejamos a los clientes sobre cómo minimizar la energía que consumen nuestros equipos.

Bombas secundarias

La reducción del consumo de energía global es clave en la lucha contra el calentamiento global. Además de reducir la energía que nuestras instalaciones de producción y oficinas consumen, nuestras últimas generaciones de bombas turbomoleculares permiten que nuestros clientes cumplan con sus objetivos de reducción de energía. Edwards ofrece programas de actualización que les permiten a los clientes cambiar a la tecnología de bomba turbomolecular con uso eficiente de la energía.

Por ejemplo, estos son algunos de los beneficios de pasar de las bombas difusoras de aceite a las bombas turbomoleculares STP:

  • Menor coste de suministros (agua y energía)
  • Ningún mantenimiento ni cambios de aceite anuales
  • Mayor rendimiento de bombeo
  • Ruido ambiental muy bajo y baja vibración
  • Necesidades de espacio reducidas

Reducción

Los procesos de fabricación de semiconductores utilizan gases, como los fluorocarburos y el hexafluoruro de azufre, que son muy preocupantes para el medioambiente debido a su persistencia y el alto potencial de calentamiento global (PCG). Estas sustancias pueden tener un PCG 1000 veces el PCG del dióxido de carbono. Por ejemplo; si el CO2 tiene un potencial de calentamiento global (PCG) de 1 durante 100 años, en el mismo período, el SF6 tiene un PCG de 23 500, el NF3 tiene un PCG de 16 100 y el CF4 tiene un PCG de 6 630. (Fuente: Quinto informe de evaluación del IPCC, 2014).

Hemos estado ayudando a nuestros clientes a alcanzar altos niveles de eficiencia en la eliminación de estas sustancias desde mediados de la década de 1990. Todo esto gracias a nuestra tecnología de reducción de la combustión. Más recientemente, con la tecnología de plasma, nuestros clientes han podido lograr reducciones de CO2 >90 % en toda la fabricación de semiconductores, lo cual cumple con los objetivos del Consejo Mundial de Semiconductores. Para la producción de paneles planos y dispositivos medioambientales emergentes, como los paneles solares y la iluminación LED, desarrollamos los sistemas de eliminación Spectra Z y Spectra G a fin de hacer frente a flujos de gas más elevados.

Nuestros productos de eliminación de Atlas utilizan hasta un 50 % menos de combustible que las gamas anteriores. Edwards también ofrece la tecnología de Atlas como una actualización de eficiencia energética a las gamas anteriores de productos de eliminación. Además, con la combinación de bombas y sistemas de eliminación ahorramos energía por medio de la aplicación de una innovadora tecnología de "modo de inactividad".