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refrigerador criogénico maxcool

Alcance niveles de vacío más bajos rápidamente

Estos refrigeradores criogénicos se pueden utilizar para capturar el vapor de agua y otras sustancias condensables, congelándolas en una superficie fría, como una criobobina o un deflector tipo chevrón. Los refrigeradores criogénicos MaxCool también se utilizan para enfriar y calentar objetos tales como abrazaderas electroestáticas que se utilizan en el procesamiento de obleas semiconductoras. Los diferentes modelos de nuestra gama proporcionan 2000, 2500 o 4000 W de enfriamiento.

Bombeo de vapor de agua

El vapor de agua es, por lo general, el contaminante más reactivo presente en los sistemas de alto vacío. Con nuestros refrigeradores criogénicos MaxCool, obtendrá un aumento en el rendimiento de su sistema existente de un 20 % a un 100 %, y mejorará la calidad de la deposición.

Las ventajas de MaxCool

  • El tiempo de bombeo hasta lograr el alto vacío disminuye hasta en un 75 %
  • Aumento del rendimiento del producto de un 20 % a un 100 %
  • Menor presión parcial de vapor de agua durante el procesamiento para una mejor calidad de la película, mejor adhesión y deposición más reproducible
  • Rápido retorno de la inversión mediante la eliminación del costo recurrente del nitrógeno líquido
  • Minimiza el costo de propiedad con la administración de energía
  • Alta capacidad de refrigeración y calentamiento para una amplia variedad de procesos

Refrigerador criogénico Polycold MaxCool de Edwards

Cuando los incorpora a su sistema de vacío, los refrigeradores criogénicos MaxCool pueden reducir drásticamente los tiempos de bombeo y mejorar el rendimiento de los productos. El MaxCool bombeará el vapor de agua a pocos minutos del inicio y puede descongelar en menos de cuatro minutos, lo que brinda una capacidad de ciclo rápido real. También tiene una opción llamada “paso rápido de frío a frío” (Rapid Cool to Cool), que elimina el período de espera después de la descongelación, lo que permite que el sistema realice más ciclos de producción por turno.Con las mezclas de refrigerante patentadas de Polycold®, nuestros refrigeradores criogénicos MaxCool funcionan con el principio de la trampa Meissner. El vapor de agua se captura por condensación en una superficie enfriada criogénicamente, llamada bobina de Meissner. La Meissner (bobina criogénica) se monta directamente en la cámara de vacío, de modo que la conductancia no se limite por los puertos, las válvulas ni los deflectores. La bobina criogénica es fácil de instalar y se puede adaptar para ajustarse a cualquier sistema. No necesita una válvula de alto vacío.

Los refrigeradores criogénicos MaxCool son la actualización más rentable que puede agregar a cualquier sistema de bombeo con difusor, de turbobombeo o de bombeo criogénico con helio.

Los refrigeradores criogénicos MaxCool cumplen con las normas europeas de refrigerantes para aplicaciones (EC 1005/2009), el protocolo de Montreal y el programa SNAP de la EPA en los EE. UU.

Ventajas

  • Mayor productividad con la opción de paso rápido de frío a frío
  • Opción de administración de energía para minimizar el costo de propiedad
  • Control de la temperatura
  • La carga de refrigerante no contaminante patentado cumple con las normas mundiales, no es tóxica y no es inflamable
  • Está basada en la refrigeración de una mezcla de gases comprobada, innovadora y confiable de Polycold®
  • Cumple con los requisitos de MD y la PED de la Unión Europea
  • Certificación TUV Rheinland según las normas de seguridad NRTL/CANADÁ
  • Fabricante certificado ISO 9001-2008

Especificaciones de los modelos MaxCool

 

MaxCool 2000

MaxCool 2500L

MaxCool 4000H

Capacidad máxima de enfriamiento

2000 W

2500 W

4000 W

Temperatura a la capacidad máxima de enfriamiento

-111 °C

-120 °C

-98 °C

Temperatura más fría

-142 °C

-145 °C

-133 °C

Presión de operación máxima (25 % de la velocidad de bombeo máxima)

3E-9 torr

8E-10 torr

5E-8 torr

Área típica de trampa fría

1,1 m2

1,4 m2

2,2 m2

Velocidad máxima de bombeo de vapor de agua a partir del área típica de trampa fría

163 900 l/s

208 600 l/s

327 800 l/s

Área máxima de trampa fría conservadora*

1,5 m2

2,0 m2

2,8 m2

Consumo eléctrico (modo de espera)

5,5 kW

11,4 kW

12,0 kW

Consumo eléctrico (modo de enfriamiento, carga típica)

6,2 kW

13,9 kW

12,4 kW

Consumo eléctrico (modo de enfriamiento, carga máxima)

8,8 kW

19,2 kW

19,2 kW

Flujo de agua de refrigeración a 13 °C

6,8 l/min

15,1 l/min

15,1 l/min

Flujo de agua de refrigeración a 18 °C

9,1 l/min

18,2 l/min

18,2 l/min

Flujo de agua de refrigeración a 24 °C

13,6 l/min

27,3 l/min

27,3 l/min

Flujo de agua de refrigeración a 29 °C

27,6 l/min

54,1 l/min

54,1 l/min

Cumple con los estándares PED europeos

Refrigerantes no tóxicos

Refrigerantes no inflamables

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