Los refrigeradores criogénicos MaxCool de Edwards Polycold® son sistemas de refrigeración criogénica de circuito cerrado que capturan eficazmente el vapor de agua, que comprende entre el 65 % y el 95 % del gas residual en los sistemas de alto vacío.
Estos refrigeradores criogénicos se pueden utilizar para capturar el vapor de agua y otras sustancias condensables, congelándolas en una superficie fría, como una criobobina o un deflector tipo chevrón. Los refrigeradores criogénicos MaxCool también se utilizan para enfriar y calentar objetos tales como abrazaderas electroestáticas que se utilizan en el procesamiento de obleas semiconductoras. Los diferentes modelos de nuestra gama proporcionan 2000, 2500 o 4000 W de enfriamiento.
El vapor de agua es, por lo general, el contaminante más reactivo presente en los sistemas de alto vacío. Con nuestros refrigeradores criogénicos MaxCool, obtendrá un aumento en el rendimiento de su sistema existente de un 20 % a un 100 %, y mejorará la calidad de la deposición.
Cuando los incorpora a su sistema de vacío, los refrigeradores criogénicos MaxCool pueden reducir drásticamente los tiempos de bombeo y mejorar el rendimiento de los productos. El MaxCool bombeará el vapor de agua a pocos minutos del inicio y puede descongelar en menos de cuatro minutos, lo que brinda una capacidad de ciclo rápido real. También tiene una opción llamada “paso rápido de frío a frío” (Rapid Cool to Cool), que elimina el período de espera después de la descongelación, lo que permite que el sistema realice más ciclos de producción por turno.Con las mezclas de refrigerante patentadas de Polycold®, nuestros refrigeradores criogénicos MaxCool funcionan con el principio de la trampa Meissner. El vapor de agua se captura por condensación en una superficie enfriada criogénicamente, llamada bobina de Meissner. La Meissner (bobina criogénica) se monta directamente en la cámara de vacío, de modo que la conductancia no se limite por los puertos, las válvulas ni los deflectores. La bobina criogénica es fácil de instalar y se puede adaptar para ajustarse a cualquier sistema. No necesita una válvula de alto vacío.
Los refrigeradores criogénicos MaxCool son la actualización más rentable que puede agregar a cualquier sistema de bombeo con difusor, de turbobombeo o de bombeo criogénico con helio.
Los refrigeradores criogénicos MaxCool cumplen con las normas europeas de refrigerantes para aplicaciones (EC 1005/2009), el protocolo de Montreal y el programa SNAP de la EPA en los EE. UU.
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MaxCool 2000 |
MaxCool 2500L |
MaxCool 4000H |
Capacidad máxima de enfriamiento |
2000 W |
2500 W |
4000 W |
Temperatura a la capacidad máxima de enfriamiento |
-111 °C |
-120 °C |
-98 °C |
Temperatura más fría |
-142 °C |
-145 °C |
-133 °C |
Presión de operación máxima (25 % de la velocidad de bombeo máxima) |
3E-9 torr |
8E-10 torr |
5E-8 torr |
Área típica de trampa fría |
1,1 m2 |
1,4 m2 |
2,2 m2 |
Velocidad máxima de bombeo de vapor de agua a partir del área típica de trampa fría |
163 900 l/s |
208 600 l/s |
327 800 l/s |
Área máxima de trampa fría conservadora* |
1,5 m2 |
2,0 m2 |
2,8 m2 |
Consumo eléctrico (modo de espera) |
5,5 kW |
11,4 kW |
12,0 kW |
Consumo eléctrico (modo de enfriamiento, carga típica) |
6,2 kW |
13,9 kW |
12,4 kW |
Consumo eléctrico (modo de enfriamiento, carga máxima) |
8,8 kW |
19,2 kW |
19,2 kW |
Flujo de agua de refrigeración a 13 °C |
6,8 l/min |
15,1 l/min |
15,1 l/min |
Flujo de agua de refrigeración a 18 °C |
9,1 l/min |
18,2 l/min |
18,2 l/min |
Flujo de agua de refrigeración a 24 °C |
13,6 l/min |
27,3 l/min |
27,3 l/min |
Flujo de agua de refrigeración a 29 °C |
27,6 l/min |
54,1 l/min |
54,1 l/min |
Cumple con los estándares PED europeos |
Sí |
Sí |
Sí |
Refrigerantes no tóxicos |
Sí |
Sí |
Sí |
Refrigerantes no inflamables |
Sí |
Sí |
Sí |
