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On-board Kryopumpen von Edwards

On-board Kryopumpen

Weltweiter Standard für Zuverlässigkeit und Leistung

Beschleunigte Integration und verbesserter Systembetrieb

Die On-board Kryopumpen sorgen für eine herausragende Betriebszeit und gleichbleibende Leistung durch vollständig integrierte Steuerung und unterstützende Peripheriegeräte, um die Gesamtproduktivität und Betriebszeit der Werkzeuge zu erhöhen.

 

Merkmale

  • Die Fast Regen™-Fähigkeit erweitert die Leistung der Kryopumpe zwischen den Regenerationen
  • Gleichzeitige Regenerationsfähigkeit wird durch die Vernetzung Ihrer Kryopumpen ermöglicht, wodurch sich die Regeneration des Gesamtsystems beschleunigt.
  • Integrierte Mikroprozessorsteuerung zur Leistungssteigerung, Durchführung von Diagnoseroutinen und Bereitstellung von Kommunikationsfunktionen
  • Ausgereifte Software und einfach zu bedienende grafische Benutzeroberflächen, um Leistung und Betrieb deutlich zu verbessern.

Weitere Kryopumpen aus der Edwards CTI-Cryogenics-Reihe