On-board Vakuumpumpen CTI-Cryogenics von Edwards beschleunigen die Integration und verbessern den Systembetrieb. Diese Pumpen dienen weltweit als Maß für Zuverlässigkeit und Leistung.
Die On-board Kryopumpen sorgen für eine herausragende Betriebszeit und gleichbleibende Leistung durch vollständig integrierte Steuerung und unterstützende Peripheriegeräte, um die Gesamtproduktivität und Betriebszeit der Werkzeuge zu erhöhen.
| On-board Kryopumpen-Modell | 4F | 8 | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 |
| Pumpgeschwindigkeiten – Liter/Sek. | ||||||||
| Wasserdampf | 1.100 | 4.000 | 4.000 | 9.000 | 9.500 | 6.500 | 17.500 | 30.000 |
| Luft | 370 | 1.500 | 1.500 | 3.000 | 3.600 | 2.200 | 6.000 | 10.000 |
| Wasserstoff | 370 | 2.500 | 2.200 | 5.000 | 6.000 | 3.200 | 12,000 | 12,000 |
| Argon | 310 | 1.200 | 1.200 | 2.500 | 3.000 | 1.800 | 5.000 | 8.400 |
| Kapazität – Standardliter | ||||||||
| Argon | 210 | 1.000 | 1.000 | 2.000 | 2.000 | 1.000 | 2.500 | 6.000 |
| Wasserstoff (5x10-6 Torr) | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 |
| Nennregenerationszeit (kalt zu kalt) | ||||||||
| Erste und zweite Stufe | 75 Min | 2,5 Std | 2,5 Std | 2,5 Std | 2,5 Std | <3,3 Std | 3 Std | <3,8 Std |
| Zweite Stufe | <1 Std | <1 Std | <1 Std | <1 Std | <1 Std | <1,5 Std | <1,5 Std | - |
