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On-board Kryopumpen von Edwards

On-board Kryopumpen

Weltweiter Standard für Zuverlässigkeit und Leistung

Beschleunigte Integration und verbesserter Systembetrieb

Die On-board Kryopumpen sorgen für eine herausragende Betriebszeit und gleichbleibende Leistung durch vollständig integrierte Steuerung und unterstützende Peripheriegeräte, um die Gesamtproduktivität und Betriebszeit der Werkzeuge zu erhöhen.

 

Merkmale

  • Die Fast Regen™-Fähigkeit erweitert die Leistung der Kryopumpe zwischen den Regenerationen
  • Gleichzeitige Regenerationsfähigkeit wird durch die Vernetzung Ihrer Kryopumpen ermöglicht, wodurch sich die Regeneration des Gesamtsystems beschleunigt.
  • Integrierte Mikroprozessorsteuerung zur Leistungssteigerung, Durchführung von Diagnoseroutinen und Bereitstellung von Kommunikationsfunktionen
  • Ausgereifte Software und einfach zu bedienende grafische Benutzeroberflächen, um Leistung und Betrieb deutlich zu verbessern.

On-Board Cryopump Model 4F 8 8F 10 10F 250F 400 500
Pumping Speeds - litres/sec.
Water Vapour 1,100 4,000 4,000 9,000 9,500 6,500 17,500 30,000
Air 370 1,500 1,500 3,000 3,600 2,200 6,000 10,000
Hydrogen 370 2,500 2,200 5,000 6,000 3,200 12,000 12,000
Argon 310 1,200 1,200 2,500 3,000 1,800 5,000 8,400
Capacity - std. litre
Argon 210 1,000 1,000 2,000 2,000 1,000 2,500 6,000
Hydrogen (5x10-6 Torr) 3 17 12 24 24 16 42 45
Nominal Regeneration Time (cold to cold)
First and Second Stage 75 min 2.5 hrs 2.5 hrs 2.5 hrs 2.5 hrs <3.3 hrs 3 hrs <3.8 hrs
Second Stage <1 hr <1 hr <1 hr <1 hr <1 hr <1.5 hrs <1.5 hrs -

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