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On-board Kryopumpen von Edwards

On-board Kryopumpen

Weltweiter Standard für Zuverlässigkeit und Leistung

Beschleunigte Integration und verbesserter Systembetrieb

Die On-board Kryopumpen sorgen für eine herausragende Betriebszeit und gleichbleibende Leistung durch vollständig integrierte Steuerung und unterstützende Peripheriegeräte, um die Gesamtproduktivität und Betriebszeit der Werkzeuge zu erhöhen.

 

Merkmale

  • Die Fast Regen™-Fähigkeit erweitert die Leistung der Kryopumpe zwischen den Regenerationen
  • Gleichzeitige Regenerationsfähigkeit wird durch die Vernetzung Ihrer Kryopumpen ermöglicht, wodurch sich die Regeneration des Gesamtsystems beschleunigt.
  • Integrierte Mikroprozessorsteuerung zur Leistungssteigerung, Durchführung von Diagnoseroutinen und Bereitstellung von Kommunikationsfunktionen
  • Ausgereifte Software und einfach zu bedienende grafische Benutzeroberflächen, um Leistung und Betrieb deutlich zu verbessern.

On-board Kryopumpen-Modell 4F 8 8F 10 10F 250F 400 500
Pumpgeschwindigkeiten – Liter/Sek.
Wasserdampf 1.100 4.000 4.000 9.000 9.500 6.500 17.500 30.000
Luft 370 1.500 1.500 3.000 3.600 2.200 6.000 10.000
Wasserstoff 370 2.500 2.200 5.000 6.000 3.200 12,000 12,000
Argon 310 1.200 1.200 2.500 3.000 1.800 5.000 8.400
Kapazität – Standardliter
Argon 210 1.000 1.000 2.000 2.000 1.000 2.500 6.000
Wasserstoff (5x10-6 Torr) 3 17 12 24 24 16 42 45
Nennregenerationszeit (kalt zu kalt)
Erste und zweite Stufe 75 Min 2,5 Std 2,5 Std 2,5 Std 2,5 Std <3,3 Std 3 Std <3,8 Std
Zweite Stufe <1 Std <1 Std <1 Std <1 Std <1 Std <1,5 Std <1,5 Std -

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