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Edwards Cryo-Torr-Kryopumpe

Cryo-Torr-Kryopumpen

Sauberes, zuverlässiges Pumpen mit hohen Drehzahlen für kritische Vakuumprozessanwendungen

Sauber und zuverlässig

Diese Kryopumpen sorgen für niedrige Betriebskosten, ermöglichen eine schnelle, einfache Wartung und bieten hohe Zuverlässigkeit und Ertragsleistung, unterstützt von einem reaktionsschnellen Kundendienst, auf den Sie sich verlassen können. Für zusätzliche Flexibilität können Sie Ihre eigenen benutzerdefinierten Steuerungen und unterstützenden Peripheriegeräte einbinden, damit Ihre spezifischen Anwendungsanforderungen erfüllt werden.

 

Merkmale

  • Geringere Betriebskosten 
  • Schnelle einfache Wartung
  • Hohe Zuverlässigkeit 
  • Ertragsleistung

Cryo-Torr-Pumpenmodell     8 8F 10 10F 400
Konfiguration     Gerade Flach Gerade Flach Gerade
Vakuumflansch-ID (Metalldichtung, ANSI, ISO)     200 mm 200 mm 290 mm 300 mm 400 mm
Gaspumpgeschwindigkeiten              
  Wasser Liter/Sekunde 4.000 4.000 9.000 9.500 16.000
  Luft Liter/Sekunde 1.500 1.500 3.000 3.600 6.000
  Wasserstoff Liter/Sekunde 2.500 2.200 5.000 6.000 5.000
  Argon Liter/Sekunde 1.200 1.200 2.500 3.000 5.000
Gaskapazitäten              
  Wasserstoff Standardliter 17 8 24 24 15
  Argon Standardliter 1.000 1.000 2.000 2.000 2.500
Durchsatz              
  Argon Sccm 700 700 1.500 1.500 500
  Argon Torr-Liter/Sekunde 9 9 19 19 6
Übergang   Torr-Liter 150 150 300 300 300
Abkühlzeit              
    60 Hertz 90 min 90 min 100 min 100 min 150 min
    50 Hertz 110 min 110 min 120 min 120 min 180 Min.
Gewicht der Kryopumpe              
    lbs 45 42 85 90 160
    kg 20 19 39 41 73

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