Edwards Gas Reactor Column (GRC)
Speziell entwickelt, um gefährliche Gase aus den Abgasen von Vakuumpumpenauslässen bei Halbleiterprozessen sicher zu entfernen.
Die GRC ist ein einzigartiger Heißbettreaktor, der toxische Gase chemisch zerstört. Er behandelt die unterschiedlichsten Gase und Gemische in einem System, ohne neue Probleme bei der Abgasentsorgung zu verursachen. Ein anorganisches Granulatgemisch ist in einer geschweißten Edelstahlkartusche enthalten. Diese wird durch das Einsetzen in ein elektrisches Rohrheizelement auf erhöhter Temperatur gehalten. In die Kartusche geleitete gefährliche Abgase werden dort durch vollständige chemische Reaktion in inerte stabile anorganische Salze umgewandelt.
- DRY-System, kann direkt an den Vakuumpumpenauslass angeschlossen werden.
- Keine Gefahr der Rückströmung von Feuchtigkeit
- Kein Desorptionsrisiko von toxischen Gasen
- Vollständige chemische Umwandlung von Gasen in inerte stabile Salze
- Keine giftigen festen oder flüssigen Abfälle zur Entsorgung
- Gebrauchte Kartuschen sind als nicht gefährlicher Abfall zertifiziert
- Gebrauchte Kartuschen können auch völlig abfallfrei recycelt werden
- Der Kartuschentausch ist einfach und gefahrlos
- Keine Brennstoffe und Flammen mit der damit verbundenen Gefahr, giftige Nebenprodukte zu produzieren
- Minimale Wartungsanschlüsse erforderlich. Die Einlassrohrleitungen können auf 120 Grad Celsius gehalten werden, um Feststoffablagerung zu verringern.
