You are using a browser we do not support any longer. To continue visiting our website, please choose one of the following supported browsers.
Aktuelles
Unsere Märkte
Unsere Produkte
Service-Lösungen
Fachwissen
News
News
News
Knowledge & Insight
Knowledge & Insight
Service Solutions
Das weltweit führende System für die sichere Abgasreinigung am Nutzungsort
Speziell entwickelt, um gefährliche Gase aus den Abgasen von Vakuumpumpenauslässen bei Halbleiterprozessen sicher zu entfernen.
Die GRC ist ein einzigartiger Heißbettreaktor, der toxische Gase chemisch zerstört. Er behandelt die unterschiedlichsten Gase und Gemische in einem System, ohne neue Probleme bei der Abgasentsorgung zu verursachen. Ein anorganisches Granulatgemisch ist in einer geschweißten Edelstahlkartusche enthalten. Diese wird durch das Einsetzen in ein elektrisches Rohrheizelement auf erhöhter Temperatur gehalten. In die Kartusche geleitete gefährliche Abgase werden dort durch vollständige chemische Reaktion in inerte stabile anorganische Salze umgewandelt.