Sehen, wo Sie zuvor blind waren
Edwards Prozessgasanalysator – Echtzeit-Prozesssteuerung für Halbleiter-Anwendungen
iTrap® ist ein kompaktes, hochempfindliches Fourier-Transformations-Massenspektrometer mit Ionenfalle. Es ist ein ideales Werkzeug für die Prozessanalyse und die In-Line-Prozesssteuerung. Es kann in F&E- und Produktionsumgebungen eingesetzt werden. iTrap unterstützt Sie bei der zuverlässigen Erkennung kleinster Spuren von Reaktionsnebenprodukten oder Verunreinigungen. Es hilft Ihnen, die Effektivität von Reinigungen zu untersuchen und den Zustand der Kammer zu analysieren. Ein Massenspektrum wird nahezu in Echtzeit gemessen. Damit können Sie sehr kleine Mengen von Molekülen in Ihrer Prozesskammer erkennen. iTrap ist ein leistungsfähiges Werkzeug für Forscher oder Verfahrenstechniker und kann auch als intelligenter Sensor verwendet werden, der von anderen Prozesswerkzeuggeräten integriert und gesteuert wird.
Vorteile
Edwards iTrap überzeugt durch:
- Schnelligkeit | Echtzeitmessungen möglich, volles Spektrum in < 0,5 Sek.
- Empfindlichkeit | Messung sehr kleiner Konzentrationen
- Kompaktheit | Kann in eine Prozesskammer integriert werden. Standardisierte Softwareschnittstelle für externe Chemikalien.
- Robustheit gegen Korrosion | Inerte Oberfläche, keine Detektoren. Hält H2, Cl, F und anderen aggressiven Chemikalien stand.