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Restgasanalysatoren von Edwards

Das perfekte Zusammenspiel aus hoher Leistung und Zugänglichkeit

Besitzen Sie den richtigen Restgasanalysator zur Überwachung Ihrer Vakuumqualität?

Besprechen Sie die Angelegenheit mit einem Experten, wenn Sie sich nicht sicher sind.

Alle RGA sind mit spezieller Software ausgestattet, mit der Sie Ihren Prozess in Echtzeit steuern und bis zu 16 unterschiedliche Einheiten detailliert analysieren können.

Zur schnellen Übersicht sind die Einheiten mit einem eigenen Display versehen, auf dem sich die Hauptgastypen sowie der Gesamtdruck des Systems ablesen lassen.

PRA Primärgasanalysator

Er verfügt über ein perfektes Zusammenspiel aus hoher Leistung und Zugänglichkeit.

  • Erhältlich in vier Modellen, um Ihren Prozessanforderungen gerecht zu werden, egal, ob Sie nur ein Basismodell oder eines mit mehr Empfindlichkeit/Reichweite benötigen.
  • Ein PRA-Gerät ist der perfekte Ausgangspunkt für die Analyse Ihrer Prozesse.

 

RGA-Gasanalysator

WRA Restgasanalysator mit breitem Anwendungsbereich

Spitzenmodelle mit marktführenden Leistungsdaten.

  • Erhältlich in zwei Ausführungen – 1-200 oder 1-300 amu. So können Sie ein breites Spektrum an Gasen/Nebenprodukten in Ihren Prozessen messen.
  • Hinzu kommt eine erhöhte Empfindlichkeit verglichen mit dem PRA, die noch präzisere Messungen ermöglicht.
Residual Gas Analyser RGA, WRG, PRA
Gesamtdruckmessung

für eine umfassende Prozesssteuerung

Doppel-Heizfaden

für höchste Zuverlässigkeit und Betriebszeit

Integriertes Display

für grundlegende Messungen ohne PC

Vom Kunden austauschbare Bauteile
Entgasungsfunktion
Schutz vor Ionenquelle und EM
Halbleiterprozesse

Hochenergiephysik

Forschung und Entwicklung
Vakuumgefriertrocknung
Dünnfilm und Anzeige
Vakuumwärmebehandlung

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