Edwards feiert 100 Jahre Innovation bei der SEMICON Korea

23. Januar 2019

100 Jahre Edwards Vacuum

Edwards Celebrates 100 Years of Innovation at SEMICON Korea

Bei der diesjährigen SEMICON® Korea stellen wir innovative Lösungen vor, mit denen Chiphersteller im heutigen anspruchsvollen und vielschichtigen Markt bestehen können. Der wachsende Bedarf an immer komplexeren Designs für kleinere Baugruppen hat viele unterschiedliche Halbleiterfertigungsprozesse hervorgebracht, in denen eine Vielzahl technologischer Verfahren und Materialien Anwendung findet, deren erfolgreiche Umsetzung auf neuen Vakuum- und Abgasreinigungsmethoden beruht.

Wir feiern dieses Jahr 100 Jahre technologische Innovation. Im Rahmen der SEMICON Korea werden wir zwei Vorträge zu den Themen Innovation, Produktivität und Sicherheit halten:

˗ „CVD Precursors and Associated By-products – Ensuring Maximum Chamber Productivity“ von Al Brightman, Sr. Product Manager, Edwards. Al Brightman betrachtet optimierte Vakuumlösungen zur Verkürzung von Ausfallzeiten und Steigerung der Anlagenproduktivität. Darüber hinaus können Gesundheits- und Sicherheitsrisiken erheblich verringert werden (Mittwoch, 23. Januar, Raum 308). „Enabling 3D and High-aspect Ratio Etch Technologies through On-Chamber Process Vacuum", von Adam Stover, Application Manager bei Edwards. Adam Stover geht nicht nur auf altbekannte Vakuumpumpen-Problemstellungen und bewährte Lösungen ein, sondern ebenfalls auf neue Anwendungsherausforderungen, die möglicherweise komplexere 3D NAND- und DRAM-Strukturen bzw. weitere Komponentenstrukturen erfordern (Donnerstag, 24. Januar, Raum 307).

An unserem Stand (D104) wird ein neues Modell der beliebten iXH-Baureihe zu sehen sein, die speziell zur Beförderung kondensierbarer Gase entwickelt wurde. Die trockenlaufende Vakuumpumpe ist für den Einsatz unter höheren Temperaturen in Verfahren mit starker Materialbeanspruchung geeignet.

„Der sichere und effektive Umgang mit Prozessabgasen wird heute immer wichtiger, vor allem in Anbetracht der weltweit immer strengeren Umweltauflagen“, erklärt Jason Yun, General Manager, Edwards Korea. „Gleichzeitig gehen fortschrittliche Technologien auch mit neuen Materialien und Verfahren einher, die Herausforderungen mit sich bringen und alle jeweils optimierte Vakuum- und Abgasreinigungslösungen erfordern. Unsere neue trockene Vakuumpumpe der iXH-Baureihe wurde beispielsweise speziell entworfen, um die Ansammlung kondensierbarer Materialien in der Pumpe zu vermeiden.“ Yun weiter: „Außerdem feiern wir dieses Jahr unser 100-jähriges Bestehen. In diesem Zuge hoffen wir auf weiterhin gute Zusammenarbeit mit unseren Kunden, damit wir auch in Zukunft Lösungen für sie entwickeln können, die Innovationen ermöglichen.“

Besuchen Sie uns bei der SEMICON Korea am Stand D104, um mehr über unsere Sub-Fab-Lösungen und Mehrwertdienste zu erfahren. Die SEMICON Korea findet vom 23. bis 25. Januar im COEX-Kongresszentrum in Seoul statt.