nHT series Diffusion Pumps Brochure
Moderne Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz der nächsten Generation
Die nHT-Serie bietet eine hervorragende Vakuumleistung. Die Pumpen wurden für eine optimale Wärmeübertragung mit Öl entwickelt. Dies führt zu schnelleren Aufheizzeiten und einer deutlichen Reduzierung des Energieverbrauchs.
| nHT10 | nHT16 | nHT20 | nHT32 | nHT35 | |||||||
| ANSI | ISO | ANSI | ISO | ANSI | ISO | ANSI | ISO | ANSI | ISO | ||
| Einlassanschluss | 10" ANSI | 320 ISO-K | 16" ANSI | 500 ISO-K | 20" ANSI | 630 ISO-K | 32" ANSI | 800 ISO-F | 35" ANSI | 1000 ISO-F | |
| Vorvakuumanschluss | 2" ANSI | 63 ISO-K | 3" ANSI | 100 ISO-K | 4" ANSI | 160 ISO-K | 6" ANSI | 200 ISO-K | 6" ANSI | 200 ISO-K | |
| Volumenstrom* Stickstoff <10-4 mbar |
l/s | 3.000 | 6.800 | 10000 | 21.000 | 30000 | |||||
| Volumenstrom Argon <10-4 mbar |
l/s | 2.750 | 6.350 | 9,000 | 18.000 | 26.000 | |||||
| Volumenstrom Helium <10-4 mbar |
l/s | 4.500 | 9.500 | 17.000 | 30000 | 42.000 | |||||
| Gasdurchsatz | mbar l/s | 8 | 11 | 17 | 36 | 36 | |||||
| Betriebsbereich | mbar | < 10-1 bis 10-7 | < 10-1 bis 10-7 | < 10-1 bis 10-7 | < 10-2 bis 10‐7 | < 10-2 bis 10-7 | |||||
| Enddruck (Edwards 704) |
mbar | < 5 x 10-7 | < 5 x 10-7 | < 5 x 10-7 | < 10‐6 | < 10-6 | |||||
| Kritischer Vorvakuumdruck (Edwards 704) |
mbar | 5 x 10-1 | 5 x 10-1 | 5 x 10-1 | 5 x 10-1 | 5 x 10-1 | |||||
| Heizleistung | kW | 3,6 | 7,2 | 10,8 | 21,6 | 21,6 | |||||
| Heizpatronen | Mge | 3 | 6 | 9 | 18 | 18 | |||||
| Aufwärmzeitraum | min | < 15 | < 15 | < 25 | < 25 | < 25 | |||||
| Gewicht | kg | 105 | 185 | 210 | 570 | 720 | |||||
| Empfohlenes Öl | Edwards 704 | ||||||||||
| Öl | l | 3,0–4,0 | 3,5–4,5 | 5,5–7,0 | 9,0–11,0 | 9,0–11,0 | |||||
| Empfohlene Haltepumpe | E2M40 | E2M40 | E2M40 | E2M80 | E2M80 | ||||||
| Empfohlene Vorvakuumpumpe | nES200, E2M80, EDS200, EH1200 |
nES200, E2M175, EDS200, EH1200 |
nES300, E2M175, EDS300, EH1200 |
nES630, E2M275, GXS450, EH2600 |
nES630, E2M275, GXS450, EH2600 |
||||||
