Kryochladiče Edwards Polycold® MaxCool jsou kryogenní chladicí systémy s uzavřeným okruhem, který efektivně zachycuje vodní páru, která tvoří 65 až 95 % zbytkového plynu ve vysokopodtlakových systémech.
Tyto kryochladiče lze použít k zachycení vodní páry a dalších zkondenzovatelných látek pomocí zmrazení na chladný povrch, jako je kryogenní cívka nebo přepážka ve tvaru písmene V. Kryochladiče MaxCool se také používají ke chlazení a zahřívání objektů, jako jsou elektrostatická sklíčidla používaná při zpracování polovodičových destiček. Různé modely v naší nabídce poskytují chlazení o výkonu 2 000, 2 500 nebo 4 000 wattů.
Vodní pára je obvykle nejreaktivnější kontaminující látka ve vysokopodtlakových systémech. S našimi kryochladiči MaxCool můžete očekávat zvýšení výkonu produktu ve vašem stávajícím systému o 20 až 100 % a zlepšení kvality depozice.
Po přidání do vakuového systému může kryochladič MaxCool výrazně zkrátit dobu odčerpání a zvýšit výkon produktu. Chladič MaxCool začne čerpat vodní páru během několika minut od spuštění a odmrazení provede za méně než čtyři minuty, čímž umožňuje skutečně rychlé cyklování. Nabízí také možnost zvanou Rapid Cool to Cool, která eliminuje čekací dobu po odmrazení, což vašemu systému umožní více výrobních cyklů za směnu.
Pomocí patentovaných směsí chladiva Polycold® pracuje chladič MaxCool na principu Meissner zachycování. Vodní pára je zachycena kondenzací na kryogenně chlazeném povrchu, nazývaném Meissnerova cívka. Meissnerova cívka (kryogenní cívka) je namontována přímo ve vakuové komoře, takže vodivost není omezena porty, sběrnými potrubími, ventily a usměrňovači. Kryogenní cívku lze snadno nainstalovat a přizpůsobit ji jakémukoli systému. Nepotřebuje ventil pro vysoký podtlak.
Kryochladiče MaxCool představují cenově nejvýhodnější upgrade, který můžete přidat do jakéhokoli systému s difuzním čerpáním, turbo čerpáním nebo heliovým kryočerpáním.
Kryochladiče MaxCool vyhovují chladivům pro evropské aplikace (EC 1005/2009), Montrealskému protokolu a zásadám US EPA SNAP.
|
MaxCool 2000 |
MaxCool 2500L |
MaxCool 4000H |
Maximální chladicí výkon |
2 000 W |
2 500 W |
4 000 W |
Teplota při maximálním chladicím výkonu |
-111 °C |
-120 °C |
-98 °C |
Nejnižší teplota |
-142 °C |
-145 °C |
-133 °C |
Mezní provozní tlak (25 % maximální rychlosti čerpání) |
3E-9 torr |
8E-10 torr |
5E-8 torr |
Typická oblast studeného odlučovače |
1,1 m2 |
1,4 m2 |
2,2 m2 |
Maximální rychlost čerpání vodních par z typické oblasti studeného odlučovače |
163 900 l/s |
208 600 l/s |
327 800 l/s |
Konzervativní maximální oblast studeného odlučovače* |
1,5 m2 |
2,0 m2 |
2,8 m2 |
Spotřeba elektrické energie (pohotovostní režim) |
5,5 kW |
11,4 kW |
12,0 kW |
Spotřeba elektrické energie (režim chlazení, typické zatížení) |
6,2 kW |
13,9 kW |
12,4 kW |
Spotřeba elektrické energie (režim chlazení, max. zatížení) |
8,8 kW |
19,2 kW |
19,2 kW |
Průtok chladicí vody pro 13 °C |
6,8 l/min |
15,1 l/min |
15,1 l/min |
Průtok chladicí vody pro 18 °C |
9,1 l/min |
18,2 l/min |
18,2 l/min |
Průtok chladicí vody pro 24 °C |
13,6 l/min |
27,3 l/min |
27,3 l/min |
Průtok chladicí vody pro 29 °C |
27,6 l/min |
54,1 l/min |
54,1 l/min |
V souladu s evropskou směrnicí PED |
Ano |
Ano |
Ano |
Netoxická chladiva |
Ano |
Ano |
Ano |
Nehořlavá chladiva |
Ano |
Ano |
Ano |
