Reaktor GRC (Gas Reactor Column) společnosti Edwards
Speciálně navrženo pro bezpečné odstranění nebezpečných plynů z výfuku vývěvy při výrobě polovodičů.
GRC je jedinečný reaktor s horkým ložem, který chemicky ničí toxické plyny. Zachází s nejširším rozsahem a směsí plynů v jediném systému, aniž by vytvářel nové jednorázové problémy s odpadem. Vlastní směs anorganických granulí je uchovávaná ve svařované kazetě z nerezové oceli. Zde je udržována zvýšená teplota díky trubkovému elektrickému topnému tělesu. Nebezpečné výfukové plyny procházející do kazety chemicky reagují na dokončení a jsou přeměněny na inertní stabilní anorganické soli.
- SUCHÝ systém, lze připojit přímo k výfuku vakuové vývěvy
- Bez rizika zpětného návratu vlhkosti
- Žádné problémy s odstraněním toxických plynů
- Kompletní chemická přeměna plynů na inertní stabilní soli
- Žádný toxický pevný ani kapalný odpad k likvidaci
- Použité kazety jsou certifikované jako bezpečný odpad
- Použité kazety lze také recyklovat, čímž se eliminuje vznik odpadu
- Výměna kazety je snadná a bezpečná
- Žádné palivo ani oheň, tudíž nulový vznik toxických vedlejších produktů s tím spojených
- Minimální servisní přípojky požadované při práci na vstupním potrubí lze udržovat na 120 °C, aby se snížila depozice pevných látek.
