Your browser is not supported

You are using a browser we do not support any longer. To continue visiting our website, please choose one of the following supported browsers.

Atlas

ATLAS – bezkonkurenční výkon při snižování emisí

Technologie pro snižování emisí Atlas: řada řešení pro snižování emisí spalin – specifická pro váš proces:

  • Systém Atlas TCS pro běžné plyny CVD (NF3/F2)
  • Systém Atlas TPU pro perfluorované plyny (CF3, C2F6, C3F8) v procesech CVD
  • Systém Atlas Kronis pro plyny CVD s nízkým obsahem v procesech nové generace
  • Systém Atlas Etch pro leptání polovodičů a procesy výroby plochých obrazovek (CF4, SF6 a perfluorované plyny s vysokým průtokem)
  • Systém Atlas Helios pro bezpečné zpracování procesů vodíku v epitaxi a MOCVD

Systémy Atlas™ mají ve srovnání s předchozími generacemi zařízení pro snižování emisí plynů nízkou spotřebu paliva. K dosažení výrazně nižších nákladů na vlastnictví používáme osvědčenou technologii spalování s vnitřním vstřikováním Alzeta™. Díky 1–6 vstupům s řadou možností, včetně systému řízení teploty (TMS), mohou systémy Atlas zpracovávat průtok až 1200 slm. Jsou navrženy tak, aby se snadno používaly a umožňovaly efektivnější údržbu.

Technologie spalování s vnitřním vstřikováním společnosti Edwards

Tento spalovací systém, který používá většina velkých výrobců polovodičů, se od roku 1994 stal světovým standardem v oblasti snižování emisí plynů.

Naše jedinečná technologie spalování funguje při jednotné teplotě spalování. Tím jsou zajištěny velmi nízké vedlejší emise a přítok plynu zabraňuje kontaktu provozního materiálu se stěnami komory, což minimalizuje ucpání pevnými látkami. Exkluzivní složení materiálu spalovacího systému zajišťuje vynikající odolnost vůči korozi a pomáhá systému Atlas získat bezkonkurenční spolehlivost a bezpečnost.

V našem nejmodernějším centru pro inovace v oblasti životního prostředí máme řešení vyladěná pro vynikající výkon, která jsou vyzkoušená v praxi a ověřená třetí stranou. Snižování emisí obvykle přesahuje rámec celosvětové a místní legislativy:

    SiH4 a další halogenidy pod TLV

    NF3: > 99 % / < TLV

    F2: > 99 % / < TLV

    CF4: > 90 %

    Ostatní perfluorované plyny: > 99 %

Díky rozsáhlé instalační základně, jedinečnému týmu celosvětových aplikací a servisní podpoře vám můžeme nabídnout nejlepší řešení navržené pro vaše potřeby. Spojte se s naším týmem a spolupracujte s námi na dosažení dokonalého řešení.