Высокая экологичность и надежность при сниженной стоимости владения

В инновационных сухих насосах Edwards применяются передовые технологии, специально разработанные для улучшения условий производства полупроводников и электроники. Все серии насосов имеют специальную конструкцию, которая обеспечивает улучшение экологических показателей, повышает надежность при эксплуатации в сложных условиях и гибкость применения для облегченных режимов работы.

Серия iXM — низкое потребление энергии

Использование сухих насосов iXM с низким энергопотреблением позволяет существенно оптимизировать технологический процесс за счет увеличения времени бесперебойной работы, снижения воздействия на окружающую среду и сокращения затрат при эксплуатации критически важного оборудования.

Энергоэффективный механизм Рутса позволяет снизить потребляемую мощность почти на 60 %, уменьшает вредное воздействие на окружающую среду и снижает стоимость владения
Благодаря газовому уплотнению и более точному тепловому расчету коррозионная стойкость новых насосов в четыре раза выше, чем у изделий предыдущих серий
Улучшенные возможности работы с порошковыми материалами обеспечивают максимальную надежность и продлевают срок службы насосов, используемых для многослойного травления, а также позволяют снизить потребление энергии в процессе химического осаждения из газовой фазы (CVD)
Компактная и легкая конструкция в сочетании с исключительно низким уровнем шума и вибрации обеспечивает большую универсальность применения
Варианты исполнения с применением технологии Xcede, обеспечивающей повышенную коррозионную стойкость.

Серия iXH — для жестких условий эксплуатации

Сухие насосы iXH устанавливают новые стандарты технологических возможностей, надежности и сокращения стоимости владения для оборудования, используемого в тяжелых условиях.

Широкий диапазон рабочих температур позволяет оптимизировать работу насоса, чтобы сократить осаждение побочных продуктов из конденсата и материала покрытия
Сухие насосы iXH Mk2 отличаются еще большим сроком службы в самых жестких условиях, а их применение значительно повышает эффективность использования энергии
Инновационная технология уплотнения насоса позволяет увеличить продолжительность технологического процесса и снизить вероятность утечек
Варианты исполнения с применением технологии Xcede, обеспечивающей повышенную коррозионную стойкость.

Серия iXL — для облегченных режимов работы

Компактные сухие насосы iXL с низким энергопотреблением для облегченных режимов работы, например при обработке полупроводниковых пластин, в процессе физического осаждения из газовой фазы (PVD), а также для применения в метрологии.

Быстрая откачка камеры и чрезвычайно низкое энергопотребление
Сухие насосы iXL600(N) и iXL1000(N) — одни из самых компактных и малошумных насосов для облегченных режимов работы
Насосы iXL600M и iXL1000M изготовлены из закаленной стали и специально разработаны для травления диэлектриков (оксидов) и других аналогичных задач
Сухие насосы iXL600(N) и iXL1000(N) отличаются высокой скоростью откачки и низким энергопотреблением
iXL900R — самый быстрый из насосов, предназначенных для использования с загрузочными шлюзами при производстве плоских дисплеев (FPD). Использование этого нового насоса позволяет клиентам значительно снизить эксплуатационные расходы и сократить продолжительность монтажа. Этот насос особенно хорошо подходит для камер с загрузочным шлюзом самых больших размеров, которые используются в процессе физического осаждения из газовой фазы (PVD). Кроме того, на каждую камеру потребуется меньшее количество насосов. Преимущества — сокращение времени монтажа, снижение энергопотребления, уменьшение расходов на создание системы и ее техническое обслуживание.
Функция Green Mode позволяет снизить потребление энергии в холостом режиме, тем самым улучшая экологические показатели предприятия и оптимизируя его расходы

We are very proud that the winner of the 2022 Harry Leck Memorial Medal is Dr Andrew Chew.

Новое предприятие Edwards по производству криогенных насосов готовится к открытию в штате Массачусетс в 2022 году

Introducing Edwards' new intelligent EJGO vacuum pump controller

Matching primary and secondary pumps

Удаленный мониторинг работы вакуумных насосов

Oil Finder

Applications Knowledge Hub

Аналитические инструменты

Химическая и пищевая промышленность

Научные исследования и разработки

Производство энергии

Промышленные системы

Полупроводник

Дисплей

Возобновляемые источники энергии, освещение и аккумулирование энергии

Продукция, разработанная на заказ

Диффузионные насосы

Насосы с масляным уплотнением

Механические бустерные насосы

Промышленные безмасляные насосы

Малые сухие насосы

Турбомолекулярные насосы

Измерение вакуума

Обнаружение течей

Residual Gas Analysers

Химические сухие насосы

Vacuum Components

Вакуумные насосы для создания сверхвысокого вакуума

Водокольцевые насосы

iTrap

Турбомолекулярные насосные станции

Криогенные чиллеры

Cryopumps

Сухие насосы для производства полупроводников

Environmental Solutions - Abatement

Интегрированные решения

Ремонт вакуумных насосов

Сервисный центр для производителей полупроводников

Техника безопасности

Применение

Окружающая среда

Applications Knowledge Hub

Product Support and Downloads

Сухие насосы для производства полупроводников

Высокая экологичность и надежность при сниженной стоимости владения