Преимущество криогенных насосных систем Edwards CTI-Cryogenics IS — использование инновационной высокоэффективной технологии, которая обеспечивает отличные параметры вакуума и оптимизирует потребление энергии.
Запатентованная распределительная система управления осуществляет мониторинг и непрерывное регулирование отдельных компонентов криогенной насосной системы для поддержания оптимальных параметров вакуума в системе для исключительной стабильности процесса. Криогенные насосы On-Board IS обеспечивают максимальное время безотказной работы, лучшую производительность и самую низкую общую стоимость владения среди всех доступных на сегодняшний день систем криогенных насосов. Кроме того, для них доступна глобальная сеть оперативного обслуживания и поддержки Edwards.
Криогенный насос On-Board® IS 320FX, разработанный специально для решения задач современных процессов ионной имплантации, обеспечивает повышенную скорость перекачивания водорода и мощность, сохраняя при этом качество, производительность и надежность, которые вы ожидаете.
Криогенный насос On-Board® IS 320FX обеспечивает повышенную мощность для процессов PVD для достижения максимальной производительности при сохранении прозрачности процесса. В то же время он использует проверенную энергоэффективность, стабильную производительность и низкую стоимость владения, которые вы ожидаете от On-Board® IS.
