Использование вакуумных насосов Edwards CTI-Cryogenics серии On-Board, ставших мировым стандартом надежности и производительности, позволяет ускорить интеграцию и оптимизировать работу системы.
Криогенные насосы On-board с полностью интегрированными элементами управления и вспомогательными периферийными устройствами обеспечивают непревзойденное время бесперебойной работы и повышают общую производительность.
| Модель криогенного насоса On-Board | 4F | 8 | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 |
| Скорость откачки - л/с | ||||||||
| Водяной пар | 1100 | 4000 | 4000 | 9000 | 9500 | 6500 | 17 500 | 30 000 |
| Сжатый воздух | 370 | 1500 | 1500 | 3000 | 3600 | 2200 | 6000 | 10 000 |
| Водород | 370 | 2500 | 2200 | 5000 | 6000 | 3200 | 12000 | 12000 |
| Аргон | 310 | 1200 | 1200 | 2500 | 3000 | 1800 | 5000 | 8400 |
| Емкость - станд. литров | ||||||||
| Аргон | 210 | 1000 | 1000 | 2000 | 2000 | 1000 | 2500 | 6000 |
| Водород (5x10-6 торр) | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 |
| Номинальное время регенерации (от холодного до холодного) | ||||||||
| Первый и второй этап | 75 мин. | 2,5 ч | 2,5 ч | 2,5 ч | 2,5 ч | < 3,3 ч | 3 ч | < 3,8 ч |
| Второй этап | < 1 ч | < 1 ч | < 1 ч | < 1 ч | < 1 ч | < 1,5 ч | < 1,5 ч | - |
