幅広い製品範囲とアプリケーションのノウハウで先進OEMをサポート
Edwardsは分析機器分野の進化し続ける課題を理解しています。この知識、および当社の先進OEMとの幅広い業務経験から、クリーンで安定した真空環境を実現する高品質の真空ポンプとコントローラを開発しました。Edwardsなら、貴社のニーズに合った完璧な真空ソリューションを迅速かつ柔軟に生み出します。
標準のポンプが設置場所や性能の要求を満たさない場合、当社のA&Dチームは、特注の真空ソリューションを開発し、要求モデルシステムを実現します。Edwardsでは、各ステップでパートナーシップアプローチを採用しており、電力消費の削減またはガス排気量の向上を実現するための最適なソリューションの実現を支援しています。
Edwardsのアプリケーション&デリバティブチームには、貴社に最適なソリューションを提供するための真空専門知識とアプリケーションのノウハウを有しています
| バッキングポンプ | ターボ分子ポンプ | 超高真空ポンプ |
|---|---|---|
| nXDSドライスクロールポンプ | nEXTターボ分子ポンプ | チタンイオンゲッターポンプ (IGPs) |
| nXDSシリーズのスクロールポンプは、クラスで最高性能のポンプで、排気速度6〜20m3/hで低電力消費、低騒音を備えています。 | nEXTターボ分子ポンプは、排気速度85、240、300、400 l/sで一貫した性能、信頼性、エンドユーザーの保守性を備えています。 | IGPは10-5〜10-12 mbarで動作するサイズが0.2〜1200 l/sの排気速度（N2）のキャプチャポンプです |
| XDSドライスクロールポンプ | nEXTスプリットフロー | チタンサブリメーションポンプ (TSPs) |
| XDS大容量スクロールポンプは、さまざまなアプリケーションにわたって堅牢なドライ真空ソリューションを提供し、35または40 m3/hの排気速度を実現します | カスタム設計と既存スプリットフローポンプは、高性能を提供する複数インレットを特徴とします。 | TSPは、迅速な真空排気のため真空環境から反応性ガスを除去します。 すべての部品は400 oCまでベーキング可能で、10000 l/s (H2)までの排気速度で10-5～10-12 mbarで動作できます |
| RVおよびEMロータリベーンポンプ | STP磁気浮上型ターボ分子ポンプ | 非蒸発性ゲッターポンプ |
| 油回転ベーンポンプは、優れた到達真空圧力、静音運転を実現し、0.7～38 m3/hの排気速度を提供すします。 | STP磁気浮上式ターボ分子ポンプは、非接触磁気軸受けによ、低振動、保守低減を実現し、300〜4300 l/sの排気速度で信頼性の高いパフォーマンスを実現します | NEGは、排気し真空保持するアプリケーションに最適で、通常範囲50〜400 l/sのNEGカートリッジはUHV製品の範囲をさらに拡大します |
| XDD1ダイヤフラムポンプ | デジタルコントローラ | |
| 1.2 m3/hの排気速度を提供するXDD1ポンプは、ターボ分子ポンプを排気する理想的な小型ドライソリューションです | 柔軟で構成可能なデジタルコントローラは、性能、電力、保護のバランスが適切で、UHV範囲全体に適しています | |
| 計測および制御 | ||
| 簡単なダイヤル真空ゲージから高度なマイクロプロセッサ真空ゲージなど、非常に幅広いユーザー仕様を満足するように設計されたモデルを備えた当社の幅広い真空ゲージおよびコントローラは2000〜10-13 mbarの圧力範囲に対応します | ||
