我们的完全 集成式泵和减排系统将为 EUV 平版印刷制造 带来显著优势。我们领先的创新技术 解决方案和系统化能力将会提升制程正常运转时间、 产量、吞吐量与安全认证水平，与此同时努力协调平衡往往 相互冲突的不同要求：

• 通过 缩减耗材（电能、燃气、氮气与冷却水）使用量 而降低拥有成本，
• 减少 不利于环境的排放（噪音、振动、生产层微粒、废气、 废水），
• 延长 产品使用寿命，降低持续服务成本。

EZENITH 提供先进的系统组合，为您的 半导体加工应用提供了完全集成的真空和 废气管理解决方案。EZENITH 系统独一无二，它提供：

• 以制程为中心的真空和废气管理
• 组件的完全集成
• 通过强大、集成的控制界面支持每种功能
• 专为高效利用空间而设计 - 可实现高达 70% 的节省
• 完整的内部分配机制，对服务 进行规范和监控，水电设施消耗可降低 60% 以上，同时确保平稳 可靠运转

仅仅有 泵和气体减排设备，您仍然不能随时运转您的制程。 您将需要连接泵排气管道、连接管道加热器（如果 需要）、铺设供水管道、吹扫管道和电气线路，然后让所有 控制信号准备就绪。您还必须考虑双壳体、气体 泄漏检测以及在进行工具维护后如何进行 泄漏检查。所有这些事宜都将占用您的设计时间和资金。我们 了解问题所在，因此开发了集成的、特定于制程的 解决方案。 

我们的集成式系统已针对大多数半导体 CVD 制程进行预设计。排气加热器针对适当温度 进行设置以便最大程度地降低成本和延长正常运行时间。我们在需要的位置 安装泄漏检查端口和闸阀。整个系统处于密封状态，最 重要的是，您只需要提供每种所需的水电设施。我们 会根据需要分配气体、水、电和控制信号并打造随时可 投入使用的系统。