EZENITH 提供先进的系统组合,为您的
半导体加工应用提供了完全集成的真空和
废气管理解决方案。EZENITH 系统独一无二,它提供:
- 以制程为中心的真空和废气管理
- 组件的完全集成
- 通过强大、集成的控制界面支持每种功能
- 专为高效利用空间而设计 - 可实现高达 70% 的节省
- 完整的内部分配机制,对服务
进行规范和监控,水电设施消耗可降低 60% 以上,同时确保平稳
可靠运转
仅仅有
泵和气体减排设备,您仍然不能随时运转您的制程。
您将需要连接泵排气管道、连接管道加热器(如果
需要)、铺设供水管道、吹扫管道和电气线路,然后让所有
控制信号准备就绪。您还必须考虑双壳体、气体
泄漏检测以及在进行工具维护后如何进行
泄漏检查。所有这些事宜都将占用您的设计时间和资金。我们
了解问题所在,因此开发了集成的、特定于制程的
解决方案。
我们的集成式系统已针对大多数半导体 CVD
制程进行预设计。排气加热器针对适当温度
进行设置以便最大程度地降低成本和延长正常运行时间。我们在需要的位置
安装泄漏检查端口和闸阀。整个系统处于密封状态,最
重要的是,您只需要提供每种所需的水电设施。我们
会根据需要分配气体、水、电和控制信号并打造随时可
投入使用的系统。