适用于真空系统的插板阀
VAT 插板阀可实现出色的整体密封性
为什么选择插板阀？
插板阀提供创新而又简单的楔块、无需润滑的密封机构、不锈钢结构和坚固可靠的设计。
这些阀门特别适合气流中有大量工艺副产品的应用，在恶劣环境中具有较长的使用寿命和出色的可靠性。
BGV 手动插板阀
BGV 插板阀是波纹管密封型不锈钢插板阀，适用于要求高密封性和要求真空系统中的碳氢化合物含量尽量低的应用场合。尽管 BGV 插板阀主要设计用于隔离半导体晶圆厂地下室内的泵，但也非常适合打开时需要 1 bar 压差的其他应用场合。
它们设计用于 1.2 bar 绝对压力至 1 x 10‑8 mbar（1.2 x 105 至 1x10‑6 Pa）的压力范围。BGV 插板阀在任何方向上均可承受 1.2 bar 的绝对压力，以使泵上方的真空管路在阀门关闭时排气。BGV 手动阀在组件侧面有一个显示插板位置的视觉标示，以显示它是否打开。
- 在任何方向上均可承受 1.2 bar 的绝对压力。在维护期间保持泵运行，从而避免重新启动问题。
- 不锈钢结构和坚固耐用的设计。
- 在恶劣环境中具有较长的使用寿命和出色的可靠性
- 气动电磁阀和预接线选件。
- 预配置的简单“即插即用”安装。
- 简单、无需润滑的密封机构。尽可能减少多尘工艺中的颗粒造成的损坏。
BGV 手动插板阀
BGV MK3 气动插板阀
BGV MK3 气动插板阀
BGV Mk3 气动插板阀的工作方式与手动插板阀相同，但气动阀具有簧片开关，可供您的控制设备使用，以确定阀门是打开还是关闭。它们还包含 LED，用于提供阀门位置的视觉显示。
每个 BGV Mk3 气动阀均配有 24V 直流电磁阀和预接线插头，用于直接连接到 EDWARDS 的新一代真空泵（iHH、iXL、iXM 和 GXS）。这种 15 路 D-sub 插座插头为向电磁阀供电和从簧片开关位置指示器激活 LED 提供单点连接。15 路“D”插座电缆和簧片开关位置指示器（选件）可与 BGV 阀一起提供。但是，电缆长度约为 50cm，如果要连接到泵或本地控制器，则需要使用更长的延长电缆。
要将 BGV Mk3 气动阀连接到 EDWARDS 的前代产品，应使用 BGV Mk2 TIM 接口电缆。由于泵不提供直流 24V 电源来激活 LED，在前代产品（iGX、GX 或通过 iTIM 模块的 iQ 和 iH）上，LED 的功能不可用。但是，由于不需要电源，阀门位置指示器的基本功能可用于打开和关闭，并且由磁场触发。
- 在任何方向上均可承受 1.2 bar 的绝对压力。在维护期间保持泵运行，从而避免重新启动问题。
- 不锈钢结构和坚固耐用的设计。在恶劣环境中具有较长的使用寿命和出色的可靠性。
- 气动电磁阀和预接线选件。
- 预配置的简单“即插即用”安装。
- 简单、无需润滑的密封机构。尽可能减少多尘工艺中的颗粒造成的损坏。
- 还提供上锁挂牌 (LOTO) 版本。
手动和气动 BGV 插板阀如何工作？
创新而又简单的楔块密封机构结合 PEEK 滑动系统，使该阀特别适合气流中有大量工艺副产品的应用：
- 阀内无润滑油、润滑脂或复杂的运动部件，消除了因工艺碎屑污染而损坏机构的风险
- PEEK 滑动系统避免了金属间接触，并可控制 O 型圈的压缩
- 当插板关闭时，O 型圈在密封前短暂地扫过密封表面，这有助于清除密封表面的碎屑，从而提供更好的密封效果
带 LOTO 安全功能的 BGV 不锈钢插板阀
BGV LOTO 气动插板阀包括标准 BGV 系列的所有优点，此外还具有 LOTO 安全功能，并且功率较低。
BGV LOTO 插板阀是波纹管密封型不锈钢插板阀，适用于要求高密封性和要求真空系统中的碳氢化合物含量尽量低的应用场合。尽管 BGV 阀主要设计用于隔离半导体晶圆厂地下室内的泵，但也非常适合打开时需要 1 bar 压差的其他应用场合。
出色的上锁挂牌 (LOTO) 安全机构使工作人员能够自由地在真空系统上工作，而不必担心阀门意外打开。使用一个销将阀门锁定在关闭位置，以防阀门被打开，确保使阀门保持关闭状态。如果需要将阀门锁定在关闭位置，可以通过 LOTO 销插入锁扣，并用挂锁锁住。
它们设计用于 1.2 bar 绝对压力至 1 x 10‑9 mbar（1.2 x 105 至 1x10‑7 Pa）的压力范围。BGV 阀在任何方向上均可承受 1.2 bar 的绝对压力，以使泵上方的真空管路在阀门关闭时排气。
功率驱动要求低至 1 W，可直接连接到 EDWARDS 的新一代干式泵系列，无需额外的外部电源，并且便于“即插即用”的简单安装。
簧片开关可供您的控制设备使用，以确定阀门是打开还是关闭。它们还包含 LED，提供阀门位置的视觉显示。每个阀门均配有 24V 直流电磁阀和预接线插头，用于直接连接到 EDWARDS 的新一代真空泵。这种 15 路“D”插座插头为向电磁阀供电和从簧片开关位置指示器发送信号提供单点连接。15 路“D”插座电缆和簧片开关位置指示器（选件）可与 BGV 阀一起提供。但是，电缆长度约为 50cm，如果要连接到泵或本地控制器，则需要使用更长的延长电缆。
为了将 BGV LOTO 气动阀连接到 EDWARDS 的前代产品，应使用 BGV TIM 接口电缆。由于泵不提供直流 24V 电源来激活 LED，在前代产品上，LED 的功能不可用。
带 LOTO 安全功能的 BGV 不锈钢阀
带 LOTO 安全功能的 BGV 不锈钢插板阀如何工作？
创新而又简单的楔块密封机构结合 PEEK 滑动系统，使该阀特别适合气流中有大量工艺副产品的应用：
- 阀内无润滑油、润滑脂或复杂的运动部件，消除了因工艺碎屑污染而损坏机构的风险
- PEEK 滑动系统避免了金属间接触，并可控制 O 型圈的压缩
- 当插板关闭时，O 型圈在密封前短暂地扫过密封表面，这有助于清除密封表面的碎屑，从而提供更好的密封效果
- LOTO 阀可以安全地锁定在关闭位置。在维护期间提供安全的工作环境
- 功率驱动要求低至 1 W。可直接连接到 EDWARDS 的新一代干式泵
- 在任何方向上均可承受 1.2 bar 的绝对压力。在维护期间可使泵保持运行
- 气动电磁阀和预接线选件。预配置的简单“即插即用”安装
- 不锈钢结构和坚固耐用的设计。在恶劣环境中具有较长的使用寿命和出色的可靠性
- 简单、无需润滑的密封机构。尽可能减少多尘工艺中的颗粒造成的损坏
使用 BGV LOTO 气动阀时
BGV LOTO 气动阀可直接插入我们的新一代干式真空泵中，从而实现全部功能。新一代产品包括：iXH、iXL、iXM 和 GXS 泵。
为了将 BGV LOTO 气动阀连接到我们的前代产品，应使用 BGV Mk2 TIM 接口电缆。前代产品包括：iGX、GX（或通过 iTIM 模块的 iQ 和 iH）泵。
适用于超高真空和高烘烤温度的 HVA 插板阀
GV1040M
GV 手动和气动插板阀
GV 系列不锈钢波纹管密封型插板阀设计用于要求实现整体密封和要求残余大气中的碳氢化合物含量尽量低的应用。
这些优质阀门提供高真空完整性和出色的流导。它们提供 ISO、CF（金属密封）法兰选件，适用于需要更高烘烤温度的超高真空应用。
不锈钢阀体采用真空钎焊技术制造，这是一种特殊工艺，需要在高达 1100 ˚C 的烘烤温度下进行。这消除了任何虚漏的可能性，并确保产品具有较低的释气特性。
激光焊接的不锈钢波纹管可有效地密封阀门上的执行器。这一概念提供了维修方便性，并允许在阀门保持原位的条件下拆卸插板和连杆机构。
- 原位拆卸插板和连杆机构，便于维修。
- 真空钎焊制造工艺消除了虚漏。
- 内外侧均采用电抛光表面。
- 紧凑的设计，并具有高流导。
- 手动或气动选件。
- 微型开关位置指示器是气动版本的标准配置，适用于磁场。
- 维护间隔时间较长。
- 振动和冲击小。
- 可自由选择方向。
- 孔径范围广，从 40 mm/1.56 in 到 320 mm/12.48 in。
- 法兰选件 – ISO、CF（金属密封）
- 真空钎焊温度达 1100 ˚C，消除了虚漏。
